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單晶硅差壓變送器的工作原理是什么？
單晶硅差壓變送器工作原理
單晶硅差壓變送器模塊采用全焊接技術，內部擁有一個整體化的過載膜片，一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化，從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。
單晶硅差壓變送器模塊采用全焊接技術，內部擁有一個整體化的過載膜片，一個壓力傳感器和一個溫度傳感器。溫度傳感器作為溫度補償的參考值。壓力傳感器的正壓側與傳感器膜盒的高壓腔相連，傳感器的負壓側與傳感器膜盒的低壓腔相連，壓力通過隔離膜片和填充液，傳遞給傳感器內的硅芯片，使壓力傳感器的芯片的阻值發生變化，從而導致檢測系統輸出電壓變化。該輸出電壓與壓力變化成正比，再由適配單元和放大器轉化成一標準化信號輸出。
單晶硅壓阻式壓力傳感器工作原理
單晶硅差壓變送器利用單晶硅的壓阻效應而構成。采用單晶硅片為彈性元件，在單晶硅膜片上利用集成電路的工藝，在單晶硅的特定方向擴散一組等值電阻，并將電阻接成橋路，單晶硅片置于傳感器腔內。
當壓力發生變化時，單晶硅產生應變，使直接擴散在上面的應變電阻產生與被測壓力成比例的變化，再由橋式電路獲得相應的電壓輸出信號。