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壓力傳感器常見類型

閱讀:617        發布時間:2020/7/16
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壓力傳感器常根據芯體的材料,可分為藍寶石,擴散硅,陶瓷,單晶硅等,今天給大家簡單介紹下幾種類型壓力的各自特點。

 

一、藍寶石壓力傳感器


藍寶石壓力傳感器應用應變電阻式任務原理,采用硅-藍寶石作爲半導體敏感元件,具有的計量特征。
藍寶石系由單晶體絕緣體元素組成,不會發作滯后、疲勞和蠕變景象;藍寶石比硅要鞏固,硬度更高、不怕形變;而且藍寶石有著十分好的彈性和絕緣性,因而,應用硅-藍寶石制造的半導體敏感元件,對溫度變化不敏感,即便低溫條件下,也有著很棒的任務特性;藍寶石的抗輻射特性*;另外,硅-藍寶石半導體敏感元件無p-n飄移,因而,從基本上簡化了制造工藝,進步了反復性,確保了高成品率。
用硅-藍寶石半導體敏感元件制造的壓力傳感器和變送器,可在嚴酷的環境條件下正常任務,并且牢靠性高,精度好,溫度誤差極小,性價比高。


二、擴散硅壓力傳感器


分散硅壓力傳感器的任務原理是:被測介質的壓力間接作用于傳感器的膜片上(不銹鋼或陶瓷),使膜片發生與介質壓力成反比的微位移,使傳感器的電阻值發作變化,用電子線路檢測這一變化,并轉換輸入一個對應于這一壓力的規范測量信號。

三、陶瓷壓力傳感器


抗腐蝕的陶瓷壓力傳感器沒有液體的傳遞,壓力間接作用在陶瓷膜片的前外表、室膜片的外表,使膜片發生巨大的形變,厚膜電阻印刷在陶瓷膜片的反面,銜接成一個惠斯通電橋(閉橋),由于壓敏電阻的壓阻效應,使電橋發生一個與壓力成反比的高度線性,與鼓勵電壓成反比的電壓信號,規范的信號依據壓力氣程的不同標定爲2.0、3.0、3.3mV等,可以和應變式傳感器相兼容。經過激光標定,傳感用具有很高的溫度波動性和工夫波動性,傳感器自帶溫度補償0℃~70℃,并可以和絕大少數介質間接接觸。
陶瓷是一種*的高彈性、抗腐蝕、抗磨損、抗沖擊和震動的資料。陶瓷的熱波動性及它的厚膜電阻可以使它的任務溫度范圍高達-40℃~135℃,而且具有測量的高精度、高波動性。電器絕緣水平大于2KV,輸入信號強,臨時波動性好。高特性、低價錢的陶瓷傳感器將是壓力傳感器的開展方向,在歐美國度有片面替代其他類型傳感器的趨向,在中國越來越多的用戶運用陶瓷傳感器替代分散硅壓力傳感器。


四、陶瓷厚膜構造與力敏Z-元件的劣勢互補


厚膜壓力傳感器是繼分散硅壓力傳感器之后壓力傳感器的又一次嚴重的技術創新,而力敏Z-元件是目前外*具無數字信號輸入的敏感元件,因而陶瓷厚膜工藝與力敏Z-元件的復雜電路的巧妙結合,可以呈現一種功能優異、本錢昂貴的新型傳感器。詳細來說,陶瓷厚膜工藝有下述優點:
●陶瓷彈性體功能優秀,平整、平均、質密的資料在水平范圍內都嚴厲遵照虎克定律,無塑性變形。
●厚膜電阻(包括低溫導線)能與陶瓷彈性膜片結實地燒結在一同,不需用膠停止粘貼。這種剛性構造蠕變小,漂移小,靜態功能波動,靜態功能好。
●厚膜彈性體構造復雜,易于制備。它與分散硅壓力傳感器相比,不需半導體立體工藝來構成分散電阻彈性膜片,大幅度減小了消費線的后期投入和工藝加工本錢。
●陶瓷厚膜構造耐液體或氣體介質的腐蝕,不需經過不銹鋼膜片和硅油的轉換與隔離,封裝構造簡化,進一步降低本錢。
●任務量程寬。量程決議于膜片的無效半徑與厚度之比,只需微壓力不小于1Kpa,準繩上較高的量程也易于完成。
●任務溫度范圍寬,可達-40℃~120℃。
陶瓷厚膜力數字傳感器的構造設計
陶瓷厚膜力數字傳感器次要由瓷環、陶瓷膜片和陶瓷蓋板三局部組成。陶瓷膜片作爲感力彈性體,采用95%的Al2O3瓷精加工而成,要求平整、平均、質密,其厚度與無效半徑視設計量程而定。

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