量程范圍：

活塞式壓力真空計直銷，在較高壓力時(10~1Pa)利用壓力差U型管壓力計，麥克勞真空計，薄膜計，彈簧管壓力計等。

在10~10Pa的中間壓力范圍，利用氣體性質(zhì)(熱傳導(dǎo)，粘性)的變化而做成的皮氏計、粘性真空計。

在低壓力時，使用將氣體分子電離而測量的電離真空計。

表2 適用壓力范圍

產(chǎn)品簡介：

波爾登規(guī)

如右圖所示，細(xì)的銅管受氣體壓力不同會有舒展現(xiàn)象，會帶動杠桿和齒輪旋轉(zhuǎn)，使得指針指示在不同刻度上，即可讀出相應(yīng)的氣壓值。

這種規(guī)的測量范圍一般在100Pa至1atm。

薄膜電容規(guī)：

如右圖所示，在不同壓力下金屬膜片受力不同會有不同尺度的變形，使得金屬膜片和電極之間的電容變化，通過測量電容的變化量，即可知道金屬膜片上氣壓的變化。

這種規(guī)的測量范圍一般橫跨4個量級，比如可能是0.01Pa至100Pa、0.1Pa至1000Pa等。

這種規(guī)的優(yōu)點是靈敏度很高。缺點是必須在高于環(huán)境溫度的恒溫條件下使用，以消除溫度不同對膜片力學(xué)性能的影響，使用前一般需要預(yù)熱數(shù)小時。

皮拉尼電阻規(guī)

是利用電阻與溫度之間關(guān)系的原理工作的。

如右圖所示，由于不同氣壓下氣體分子熱傳導(dǎo)能力不同，當(dāng)給熱絲加恒定的電流時，由于氣壓不同通過氣體傳導(dǎo)走的熱量不同，熱絲所保持的溫度就不同，這導(dǎo)致熱絲電阻大小不同，通過測量熱絲電阻大小就可以推算氣壓大小。

如果配合電橋測量熱絲電阻的變化，將有效提高測量的準(zhǔn)確度。

這種規(guī)的測量范圍一般在0.1Pa至1000Pa。

由于不同氣體在相同氣壓時導(dǎo)熱性不同，所以這種規(guī)需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

熱電偶規(guī)

如右圖所示，熱電偶規(guī)與皮拉尼電阻規(guī)基本原理*，只是它不用測量熱絲電阻的變化，而是用熱電偶直接測量熱比的溫度變化。

測量范圍一般與在0.1Pa至1000Pa。

與皮拉尼電阻規(guī)一樣，這種規(guī)也需要在不同的使用氣體下標(biāo)定。

熱陰極電離規(guī)

如右圖所示，熱陰極電離規(guī)中，由熱陰極即燈絲發(fā)射電子，電離真空中的氣體分子，產(chǎn)生離子，由收集極收集產(chǎn)生的離子，形成離子電流，通過測量離子電流的大小即可推算出真空中氣體分子的密度，進而得到氣壓大小。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-05Pa至0.1Pa。

經(jīng)改進后的熱陰極電離規(guī)，Bayard-Alpert規(guī)，可以將測量下限降低至1.0E-09Pa。

由于不同氣體在相同氣壓下的電離率不同，這種規(guī)在使用時也需要在不同氣體下進行標(biāo)定。

冷陰極電離規(guī)

如右圖所示，冷陰極電離規(guī)也是通過電離氣體分子收集離子電流的方法進行氣壓測量，但與熱陰極電離規(guī)不同的是，它是利用磁控放電電離氣體分子產(chǎn)生離子。

這種規(guī)的測量范圍一般為1.0E-07Pa至0.1Pa。

與熱陰極電離規(guī)同樣的原因，這種規(guī)在使用時需要在不同氣體下標(biāo)定。

產(chǎn)品特征：

利用氣體分子的熱傳導(dǎo)現(xiàn)象，可能測量的壓力范圍在1~300Pa之間。熱電偶真空計測得細(xì)線溫度同時,也受到細(xì)線本身的固體熱傳導(dǎo)和熱輻射放熱的影響。因此精度不高。但是電路簡單，價格低廉。

另外此真空計在大氣壓狀態(tài)下也不會燒損。而且測得的壓力值通過電信號被取出，因此在自動控制方面容易控制。

工作原理：

按照真空計測量原理所利用的不同的物理機制，可將主要的真空計分為三大類，分別是利用力學(xué)性能、利用氣體動力學(xué)效應(yīng)和利用帶電粒子效應(yīng)的真空計。

活塞式壓力真空計直銷 ，典型的有波爾登規(guī)(Bourdon)和薄膜電容規(guī);利用氣體動力學(xué)效應(yīng)的典型真空計有皮拉尼(Pirani)電阻規(guī)和熱電偶規(guī);利用帶電粒子效應(yīng)的典型真空計有熱陰極電離規(guī)和冷陰極電離規(guī)