熱式氣體質量流量計是根據介質熱傳遞原理制成的一種流量儀表，一般是用來測量氣體的質量流量。根據被測物理量的不同可以有以下幾種測量關系：1.利用流體流過加熱管道時產生的溫度場變化與流體質量流量的關系；2.利用加熱流體時流體溫度上升某一值所需要的能量與流體質量流量之間的關系；3.利用流體流過加熱探頭時帶走的熱量與流體質量流量的關系。熱式氣體質量流量計具有壓損低、流量范圍度大、高精度、高重復性和高可靠性、無可動部件以及可用于極低氣體流量監測和控制等特點。根據上述幾種測量關系可分為兩種測量方法，一種是給流體加入必要的熱量，熱能隨流體流動，可以通過檢測相應點的熱量變化來求出流量，另一種是在流動的流體中防置發熱元件，其溫度隨流速變化，可以通過檢測發熱元件被冷卻程度來測量流量。前者稱為熱量式，后者稱為熱導式。

利用加熱流體的熱量或溫度變化測量流體的質量流量計已有很長的歷史，早期的熱式流量計直接將加熱線圈和測溫元件放入流體中與流體直接接觸，是一種接觸式流量計，后來，人們提出了一種與流體不接觸的邊界層流量計，克服了接觸式流量計的缺點，但測量結果易受介質參數（如導熱系數、比熱容、粘度等）的影響，常用來測量較大的液體流量；到70年代，基于測量流體溫度分布的熱分布型流量計，由于其*的優點和與流體非接觸的性能在國內外得到了很快的發展，用來測量氣體的微小流量；隨著科技的發展,經過對流量計結構上的重新設計，在接觸式流量計的基礎上，人們提出了一種浸入型的熱式流量計，并得到了很快的發展，熱探頭有熱線、熱膜、微型熱阻橋等，可以用來測量較大管徑的氣體流量。

綜上所述，目前得到商用化的熱式流量計從原理上主要可以分成浸入型和熱分布型兩大類。而且由于浸入型的探頭型式與結構、安裝方式等在近年來得到了很快的發展，在氣體流量測量領域的應用也越來越多。