【儀表網(wǎng) 儀表標(biāo)準(zhǔn)】6月15日，全國幾何量工程參量計(jì)量技術(shù)委員會(huì)發(fā)布了《光譜共焦傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》征求意見稿，現(xiàn)向各位委員及相關(guān)專家征集意見。
 

　　光譜共焦傳感器是一種通過光學(xué)色散原理建立距離與波長間的對應(yīng)關(guān)系，利用光譜儀解碼光譜信息，從而獲得位置信息的裝置。作為一種光學(xué)位移傳感器，主要用于表面形貌、薄膜厚度及位移的測量，在微電子、半導(dǎo)體、液晶平板等領(lǐng)域中具有廣泛的應(yīng)用。
 

　　精密加工與先進(jìn)制造中，位移傳感器技術(shù)作為產(chǎn)品質(zhì)量檢測控制的核心部件，其測量精度制約最終產(chǎn)品的質(zhì)量，光譜共焦傳感器作為一種新型位移傳感器，具有橫向分辨力高、非接觸、高精度、使用方便、適應(yīng)性好的特點(diǎn)，不僅可應(yīng)用于常規(guī)材料工件的表面定位和位移測量，更可適合于接觸易損易變形、微小零部件、液晶顯示屏等柔性材料的測量應(yīng)用。作為一種非接觸高分辨的位移傳感器，廣泛應(yīng)用于LED、MEMS、PCB、鏡片、手機(jī)、薄膜等各種元器件的制造和測量中。
 

　　制約位移傳感器測量精度的主要因素是其自身存在的各種誤差，如光學(xué)透鏡、電信號處理器、安裝誤差及軟件算法處理精度等。因此，在利用光譜共焦位移傳感器進(jìn)行位移測量前，為了保證其能夠提供足夠的測量精度，應(yīng)對光譜共焦位移傳感器進(jìn)行校準(zhǔn)。誤差校準(zhǔn)作為光譜共焦位移傳感器進(jìn)行量值溯源的核心環(huán)節(jié)，是保證光譜共焦位移傳感器使用精度的手段。
 

　　對光譜共焦位移傳感器的校準(zhǔn)工作主要集中在重復(fù)性、線性誤差。對于光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)，目前還沒有合適的技術(shù)規(guī)范可供參考。因此，制定光譜共焦傳感器校準(zhǔn)規(guī)范，是檢驗(yàn)和判斷光譜共焦傳感器技術(shù)性能最重要的方法，是光譜共焦位移傳感器量值溯源的需要，更是光譜共焦位移傳感器量值準(zhǔn)確統(tǒng)一的保證。
 

　　本規(guī)范依據(jù)JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》、JJF1001-2010《通用計(jì)量術(shù)語及定義》和JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》規(guī)定的規(guī)則編寫。
 

　　本規(guī)范參考了ISO25178-602 Geometrical product specifications(GPS)-Surface texture:Areal- Part 602:Nominal characteristics of non-contact(confocal chromatic prob) instruments、JJF1663-2017《激光測微儀校準(zhǔn)規(guī)范》、JJF 1305-2011《線位移傳感器校準(zhǔn)規(guī)范》的相關(guān)內(nèi)容。
 

　　本規(guī)范引用了下列文件：JJF1071-2010《國家計(jì)量校準(zhǔn)規(guī)范編寫規(guī)則》；JJF1001-2010《通用計(jì)量術(shù)語及定義》；JJF1059.1-2012《測量不確定度評定與表示》；ISO25178-602 Geometrical product specifications (GPS) - Surface texture: Areal- Part 602: Nominal characteristics of non-contact (confocal chromatic probe) instruments。使用本規(guī)范時(shí)，應(yīng)注意使用上述引用文獻(xiàn)的現(xiàn)行有效版本。
 

　　本規(guī)范的主要內(nèi)容包括：封面，扉頁，目錄，引言，范圍，引用文件，術(shù)語和計(jì)量單位，概述，計(jì)量特性，校準(zhǔn)條件，校準(zhǔn)項(xiàng)目和校準(zhǔn)方法，校準(zhǔn)結(jié)果表達(dá)，復(fù)校時(shí)間間隔，附錄(校準(zhǔn)記錄參考格式，校準(zhǔn)證書內(nèi)頁參考格式，測量結(jié)果不確定度評定示例)。
 

　　本校準(zhǔn)規(guī)范適用于測量范圍至100mm、分辨力優(yōu)于10μm的光譜共焦傳感器的校準(zhǔn)。