【儀表網(wǎng) 儀表產(chǎn)業(yè)】在智能傳感器領(lǐng)域，業(yè)界有這么一種說(shuō)法：造智能傳感器，必須有產(chǎn)業(yè)園。這是為什么呢？原因在于，和其他大多數(shù)產(chǎn)業(yè)不同，智能傳感器產(chǎn)業(yè)領(lǐng)域的企業(yè)，鮮有靠單打獨(dú)斗成功的。一個(gè)企業(yè)，往往只能專(zhuān)精于上述環(huán)節(jié)中的一環(huán)。可以說(shuō)，甚至是“產(chǎn)業(yè)城”。
 

資料圖
 

　　另外，智能傳感器的產(chǎn)業(yè)鏈，對(duì)“產(chǎn)學(xué)研用”的銜接度要求很高。有些技術(shù)在實(shí)驗(yàn)室里非常先進(jìn)，但找不到商業(yè)應(yīng)用場(chǎng)景，只能長(zhǎng)期留在實(shí)驗(yàn)室；有些公司設(shè)計(jì)產(chǎn)品的電路圖很有價(jià)值，但自己沒(méi)有大型設(shè)備，就做不出相應(yīng)的芯片。
 

　　那么，制作一顆米粒般大小的智能傳感器芯片，大致需要哪些工序呢？
 

　　首先，要提煉制作出硅棒，然后將之“切”成一張張形如CD的數(shù)毫米厚的晶圓裸片，然后經(jīng)過(guò)多道名為“流片”的工序，通過(guò)光刻、薄膜刻蝕、清洗等幾十甚至上百道步驟，把已設(shè)計(jì)好的電路“畫(huà)”上去，然后再把這張晶圓片按芯片的不同規(guī)格切片后鍍膜，進(jìn)行封裝測(cè)試，測(cè)試合格即可使用。
 

落地嘉定的國(guó)家智能傳感器創(chuàng)新中心，資料圖
 

　　上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園建設(shè)
 

　　去年10月份，上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園揭牌成立，總投資額近250億元。上海集成電路產(chǎn)業(yè)“一體兩翼”布局的重要組成部分、其中，“一體”是張江，“兩翼”分別是臨港和嘉定，而其中嘉定的條件便得天獨(dú)厚。比如，在上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園里，做晶圓片的，有新傲科技，兩年多前國(guó)內(nèi)首條8英寸超越摩爾和先進(jìn)傳感器研發(fā)中試線(xiàn)即誕生于那里；做應(yīng)用端的企業(yè)，有矽杰微電子等。
 

　　目前，嘉定重點(diǎn)發(fā)展以傳感器為核心的集成電路及物聯(lián)網(wǎng)芯片產(chǎn)業(yè)。在這里，一條“院所創(chuàng)新驅(qū)動(dòng)、企業(yè)研發(fā)生產(chǎn)、應(yīng)用端做好測(cè)試”的智能傳感器產(chǎn)業(yè)閉環(huán)已孕育而成。可以說(shuō)，目前，上海智能傳感器產(chǎn)業(yè)園的集聚和輻射作用已初顯端倪。
 

圖為第三代半導(dǎo)體材料氮化鎵。資料圖
 

　　廣東啟動(dòng)智能傳感器產(chǎn)業(yè)園
 

　　而在前不久，9月17日至18日，在第23屆中國(guó)集成電路制造年會(huì)上，廣東省智能傳感器產(chǎn)業(yè)園也正式啟動(dòng)。

　　同時(shí)，黃埔區(qū)、廣州開(kāi)發(fā)區(qū)出臺(tái)粵港澳大灣區(qū)區(qū)縣級(jí)智能傳感器產(chǎn)業(yè)專(zhuān)項(xiàng)政策——《廣州市黃埔區(qū)、廣州開(kāi)發(fā)區(qū)、廣州高新區(qū)促進(jìn)智能傳感器產(chǎn)業(yè)化發(fā)展若干措施》(簡(jiǎn)稱(chēng)“智能傳感器20條”)，在技術(shù)、應(yīng)用、產(chǎn)業(yè)、平臺(tái)、人才等方面加大對(duì)智能傳感器傾斜支持力度。比如，對(duì)產(chǎn)值1億元以上且同比增長(zhǎng)10%以上的智能傳感器制造型企業(yè)，將給予高5000萬(wàn)元的獎(jiǎng)勵(lì)。可以說(shuō)，政策獎(jiǎng)勵(lì)十分優(yōu)越。