【儀表儀表網(wǎng) 儀表新品】5月24日，中國科學(xué)院條件保障與財務(wù)局組織專家對中國科學(xué)院寧波材料技術(shù)與工程研究所承擔(dān)的“面向半導(dǎo)體薄膜超高速、低溫外延的中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)”和“微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置”兩個院科研裝備項目進(jìn)行了技術(shù)驗(yàn)收和綜合驗(yàn)收。
 

 

技術(shù)驗(yàn)收會現(xiàn)場
 

 

現(xiàn)場查看研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況
 

 

現(xiàn)場查看研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況
 

　　兩個項目的技術(shù)驗(yàn)收會于5月24日上午舉行，條件保障與財務(wù)局科技條件處工程師張紅松首先介紹了現(xiàn)場測試的具體要求，并宣布了專家組名單。技術(shù)測試專家組由6位專家組成，中科院半導(dǎo)體所謝亮研究員和中科院沈陽金屬所張海峰研究員分別擔(dān)任兩個項目技術(shù)驗(yàn)收專家組組長。項目的技術(shù)測試大綱經(jīng)專家組審議通過后，專家組分別在設(shè)備現(xiàn)場按照測試大綱逐項進(jìn)行測試，將測試結(jié)果與項目任務(wù)書比對后，專家組一致認(rèn)為兩套研制設(shè)備的技術(shù)指標(biāo)均達(dá)到或優(yōu)于實(shí)施方案的要求，同意提交綜合驗(yàn)收專家組驗(yàn)收。
 

　　項目的總體驗(yàn)收于5月24日下午舉行，張紅松介紹了總體驗(yàn)收要求并宣布了專家組名單。專家組由8位專家組成，包括1位裝備研制項目專家、6位技術(shù)專家，1位財務(wù)專家，組長由中科院微電子所夏洋研究員擔(dān)任。專家組分別聽取了兩個項目工作匯報、使用報告、測試報告和財務(wù)報告。
 

　　“面向半導(dǎo)體薄膜超高速、低溫外延的中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)”項目研制了一套中壓等離子體化學(xué)氣相沉積系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了硅材料的超高速、低溫外延生長；并且通過在線發(fā)射光譜和激光吸收光譜的實(shí)時檢測分析系統(tǒng)，實(shí)現(xiàn)了對中壓等離子體沉積過程的有效控制。利用該系統(tǒng)，項目組研究了氣體組分、沉積壓力、氫氣濃度等工藝參數(shù)與沉積薄膜性能之間的影響規(guī)律，為碳化硅、石墨烯等薄膜材料的低溫、快速生長提供了一個研究開發(fā)平臺。
 

　　“微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置”項目研制出了一套微細(xì)球狀非晶粉末制備裝置，研究了熔體溫度、噴嘴直徑、回轉(zhuǎn)圓盤轉(zhuǎn)速等工藝條件對粉末粒徑、非晶度和氧含量的影響規(guī)律，開發(fā)了一套新型微細(xì)金屬粉末制備的新技術(shù)，實(shí)現(xiàn)了平均粒徑在10μm左右的高質(zhì)量非晶粉末的制備。基于此裝備，項目組開展了微細(xì)非晶合金粉末的吸波性能研究，為采用新型非晶軟磁合金材料、設(shè)計和開發(fā)具有寬頻帶、強(qiáng)屏蔽效能的輕薄型磁屏蔽和吸波材料奠定了實(shí)驗(yàn)基礎(chǔ)。
 

　　專家組現(xiàn)場查看了研制儀器設(shè)備的運(yùn)行情況，審查了相關(guān)文件檔案和項目經(jīng)費(fèi)使用情況，經(jīng)討論，專家組一致認(rèn)為，兩個項目均完成了實(shí)施方案中規(guī)定的研究內(nèi)容，各項技術(shù)指標(biāo)達(dá)到要求，項目文件檔案齊全，經(jīng)費(fèi)使用基本合理，同意項目通過驗(yàn)收。
 

　　張紅松對寧波材料所兩個項目順利通過驗(yàn)收表示祝賀，并在后的總結(jié)中提出希望，希望項目組能夠充分發(fā)揮研制裝備的價值，進(jìn)一步研究開發(fā)及成果轉(zhuǎn)化，發(fā)揮好中科院科研裝備研制項目的效能。
 

　　(原文標(biāo)題：寧波材料所兩個院科研裝備研制項目通過驗(yàn)收)