【儀表網(wǎng) 產(chǎn)業(yè)報(bào)道】近日，由工業(yè)和信息化部產(chǎn)業(yè)發(fā)展促進(jìn)中心主持的國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃“制造基礎(chǔ)技術(shù)與關(guān)鍵部件”重點(diǎn)專(zhuān)項(xiàng)硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)的干涉顯微無(wú)損測(cè)量技術(shù)項(xiàng)目綜合績(jī)效評(píng)估會(huì)議在南京順利召開(kāi)，我院課題負(fù)責(zé)人傅云霞帶領(lǐng)項(xiàng)目骨干前往參會(huì)。
 

　　會(huì)上，牽頭單位南京理工大學(xué)就項(xiàng)目綜合績(jī)效進(jìn)行全面匯報(bào)，該項(xiàng)目按時(shí)完成所有指標(biāo)，經(jīng)過(guò)專(zhuān)家質(zhì)詢(xún)與財(cái)務(wù)審查等環(huán)節(jié)，最終綜合績(jī)效評(píng)估為優(yōu)秀。
 

　　上海計(jì)量院作為課題三《測(cè)量系統(tǒng)的量值溯源、校準(zhǔn)與誤差補(bǔ)償》承擔(dān)單位，圍繞硅基MEMS高深寬比三維結(jié)構(gòu)無(wú)損測(cè)量系統(tǒng)溯源及校準(zhǔn)關(guān)鍵技術(shù)問(wèn)題，研制具有30：1高深寬比溝槽結(jié)構(gòu)線寬與深度復(fù)合標(biāo)準(zhǔn)樣板，開(kāi)發(fā)復(fù)合型高深寬比溝槽(臺(tái)階)標(biāo)準(zhǔn)樣板定標(biāo)技術(shù)，并通過(guò)標(biāo)準(zhǔn)樣板計(jì)量學(xué)參數(shù)對(duì)測(cè)量系統(tǒng)深寬比范圍、線寬范圍、深度范圍、線寬不確定度、深度不確定度進(jìn)行校驗(yàn)和評(píng)定，實(shí)現(xiàn)對(duì) MEMS 高深寬比三維結(jié)構(gòu)測(cè)量系統(tǒng)有效校準(zhǔn)。
 

　　此次國(guó)家重點(diǎn)研發(fā)計(jì)劃項(xiàng)目順利結(jié)題，將有助于形成“產(chǎn)、學(xué)、研、用”有機(jī)結(jié)合創(chuàng)新體系，支撐我國(guó) MEMS 產(chǎn)業(yè)快速發(fā)展。同時(shí)培養(yǎng)一批工藝檢測(cè)專(zhuān)業(yè)技術(shù)人才，帶動(dòng)相關(guān)科技科學(xué)研究、技術(shù)產(chǎn)品開(kāi)發(fā)、行業(yè)應(yīng)用及產(chǎn)業(yè)鏈發(fā)展。