【儀表網(wǎng) 儀表新品】2022年8月4日，炬光科技全新發(fā)布Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)。該系統(tǒng)輸出光斑長(zhǎng)度和寬度在2mm到200mm范圍內(nèi)分段連續(xù)可調(diào)，光斑均勻度>95%，具備閉環(huán)溫控功能，適用于泛半導(dǎo)體制程解決方案。
 

Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)
 

　　隨著激光技術(shù)的飛速發(fā)展，激光應(yīng)用領(lǐng)域在廣度和深度上不斷拓展，各行業(yè)對(duì)于加工效率以及加工精度也不斷提出更高要求，進(jìn)而對(duì)高均勻度以及不同尺寸光斑的需求不斷增多。激光光斑從傳統(tǒng)的“點(diǎn)”已經(jīng)逐漸發(fā)展為加工效率更高的“線”和“面”。目前高均勻度(>95%)，且長(zhǎng)寬靈活可變的“線”、“面”光斑已被廣泛應(yīng)用在面板顯示、集成電路、鋰電池制造、玻璃和光伏等泛半導(dǎo)體制程解決方案。
 

　　產(chǎn)品特點(diǎn)及應(yīng)用
 

　　01 基于4000W功率976nm波長(zhǎng)的半導(dǎo)體光源
 

　　02 實(shí)現(xiàn)輸出光斑長(zhǎng)寬方向2~200mm分段連續(xù)可調(diào)
 

　　03 光斑能量均勻度>95%
 

　　04 紅外溫度監(jiān)控和閉環(huán)溫度控制功能
 

　　Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)，使用4000W功率976nm波長(zhǎng)的半導(dǎo)體光纖輸出激光光源，通過炬光科技自主知識(shí)產(chǎn)權(quán)的光學(xué)設(shè)計(jì)，從光斑長(zhǎng)度和寬度方向分別使用微光學(xué)模組進(jìn)行光斑尺寸調(diào)控和光學(xué)勻化設(shè)計(jì)，光斑長(zhǎng)度和寬度可實(shí)現(xiàn)從2mm到200mm分段連續(xù)可調(diào)，且光斑能量均勻度>95%。根據(jù)特定的應(yīng)用和工藝需求，不同的光斑尺寸變化范圍匹配相應(yīng)的工作距離，做到產(chǎn)品配置靈活可變；同時(shí)基于獨(dú)特的光學(xué)設(shè)計(jì)，系列產(chǎn)品集成了高響應(yīng)速度的紅外測(cè)溫系統(tǒng)，能夠?qū)崟r(shí)監(jiān)控工藝區(qū)域的溫度，并通過閉環(huán)溫度控制系統(tǒng)進(jìn)行功率調(diào)節(jié)和工藝溫度恒定控制，以滿足不同場(chǎng)景下的應(yīng)用需求。
 

　　Flux H系列可變光斑激光系統(tǒng)，通過不同的激光功率和靈活的光斑尺寸選擇，結(jié)合集成度極高的加工頭設(shè)計(jì)，適用于材料非接觸加熱、激光輔助鍵合、激光巨量焊接、激光干燥、材料表面處理等各類應(yīng)用。
 

　　產(chǎn)品性能參數(shù)
 

不同工作距離下的光斑尺寸變化范圍