ABL3600雙軸,大孔徑,開放式氣浮軸承平臺,專為掃描顯微鏡,掩模,晶片檢測*應用而設計。
設計和結構
結合高硬度氣浮軸承和雙直線電機驅動可保證XY開放式平臺具有杰出的性能特征。ABL3600在性能上是傳統機械軸承開放式平臺的升級版。
同Aerotech所有氣浮軸承系統一樣,專有制造技術的使用以生產出杰出幾何性能即直線度,平面度,傾斜,滾轉和偏轉的平臺。是由Aerotech的產品工廠制造,且通過傳統方法不可達到的精確公差加工而來。
無刷直線伺服電機
帶有高功率直線電機以滿足苛刻要求應用的需求。該平臺具有直驅機械的所有優勢:零背隙,無纏繞,特別的加速度,零摩擦和杰出的伺服硬度。許多應用要求好的運動穩定性,該性能只能通過直線電機驅動才能滿足。由于直驅無摩擦及無再循環因素,是掃描,成像或其他精密應用的理想選擇。
高精度直線編碼器反饋
標準反饋設備是高分辨率,非接觸,直線編碼器。這種非接觸式編碼器在工作條件先可提供杰出的重復定位精度和穩定性。可提供數字量和模擬量輸出兩種方式。
線纜管理
經過多年全面深思熟慮的研究,Aerotech可提供工業上的線纜管理系統(CMS)。我們仔細優化線纜彎曲半徑和只使用高質量線纜以確保多年*操作。在很少發生的故障事件中,Aerotech的標準設計可以zui小停機時間來提供線纜快速簡易更換。
為了使zui終系統容易集成,我們在CMS線束中提供所有客戶要求線纜,氣管等。兩端可*連接以簡單集成到客戶機器上。
定制系統
Aerotech能設計制造定制高性能系統,以滿足客戶需求和多種應用性能參數。我們能夠吸收超過35年運動控制和定位系統經驗來生產滿足您應用的的解決方案。