型號 配置 | JP-700 | JP-900 |
濺射室尺寸 (內徑×高 )mm | φ700×860 | φ900×1200 |
極限壓力 | ≤5×10-4Pa | |
抽氣速率 | 從大氣抽至 5×10-3 Pa≤15min | |
真空系統 | KT-500擴散泵系統 | K-600擴散泵系統 |
濺射方向 | 側面向中心濺射 | |
濺 射 靶 | 2個 80×750mm | 2個 120×1050mm |
靶 電 源 | DC 10 kW | DC 20 kW |
工件旋轉 | 5~25r/min,連續旋轉 | |
烘烤溫度 | 室溫--3000C 可控可調 | |
用電功率 | 三相380V 42kW | 三相380V 65kW |