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CP200臺階儀

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  • 型號
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  • 所在地深圳市
  • 更新時間2025-07-10
  • 廠商性質生產廠家
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  • 產品數量75
  • 人氣值243
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深圳市中圖儀器科技有限公司是*和軟件企業,致力于精密計量、檢測儀器設備的研發、生產和銷售。中圖儀器堅持以技術創新為發展基礎,擁有一支以清華大學、西安交大等高校的碩士畢業生為骨干的技術隊伍,在專業技術上擁有近二十年的技術積累和實踐經驗,潛心進行計量檢測技術的創新研究。

中圖儀器擁有約3000平方米的現代化科研辦公樓層,配備了*的科研設施和精密加工設備,建立了幾何量恒溫實驗室、傳感器老化實驗室和傳感器溫控實驗室,按照ISO9001標準進行生產管理,為客戶提供質量*的產品。中圖儀器的銷售和服務網絡遍及國內三十多個省、市、自治區,并與國內許多企業、科研院所保持著*密切的合作關系。10多年來,在精心研究長度、熱工、水流量等專業計量檢測技術的基礎上,研發*的CCD圖像識別技術,*設計制造SJ2000/3000系列指示表自動檢定儀、SJ5200系列螺紋綜合測量機、SJ2200系列小角度檢定儀、SJ2300系列氣浮式垂直度檢定儀、SJ2400系列影像式線紋測量儀、SJ200系列高度計、ZT5000/6000系列壓力自動校驗儀、ZT8000系列溫度自動檢定系統、SW2000系列攝像式全自動水表檢定裝置、ZT201系列全自動在線檢測儀等*儀器設備,促進了我國計量檢測裝備的技術進步。目前,中圖儀器擁有數十種自主開發的新技術產品,并具有多項技術,廣泛應用于政府計量質量檢測機構、國防*、汽車、航空航天、冶金、機械、電力、石化等行業的實驗室。中圖儀器的大多數產品達到水平,部分產品處于前列的位置,打破了檢定儀器一直以來被西方發達國家壟斷的局面。中圖儀器參與了一些制定產品檢定國家標準的工作,為國家做出了應有的貢獻。

中圖儀器的使命,就是專注于精密計量儀器和自動檢測設備的創新發展,集光、機、電、信息技術于一體,用現代化的技術手段大幅提高檢測效率,力圖中國儀器的技術進步。

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CP200臺階儀
CP200臺階儀 產品詳情

一、產品簡介

  CP200臺階儀是一款超精密接觸式微觀輪廓測量儀器,其主要用于臺階高、膜層厚度、表面粗糙度等微觀形貌參數的測量。測量時通過使用2μm半徑的金剛石針尖在超精密位移臺移動樣品時掃描其表面,測針的垂直位移距離被轉換為與特征尺寸相匹配的電信號并最終轉換為數字點云信號,數據點云信號在分析軟件中呈現并使用不同的分析工具來獲取相應的臺階高或粗糙度等有關表面質量的數據。

  CP200臺階儀采用了高精度的傳感器LVDT,具備超微力調節的能力和亞埃級的分辨率,同時,基于超滑光學平晶,其集成了超低噪聲信號采集、超精細運動控制、標定算法等核心技術,使得儀器具備超高的測量精度和測量重復性。

  CP200臺階儀具備的應用場景適應性,其對被測樣品的反射率特性、材料種類及硬度等均無特殊要求,能夠廣泛應用于半導體、太陽能光伏、光學加工、LED、MEMS器件、微納材料制備等各行業領域內的工業企業與高校院所等科研單位,其對表面微觀形貌參數的準確表征,對于相關材料的評定、性能的分析與加工工藝的改善具有重要意義。

 

二、產品功能

1. 參數測量功能

1) 臺階高度:能夠測量納米到1050μm的臺階高度,可以準確測量蝕刻、濺射、SIMS、沉積、旋涂、CMP等工藝期間沉積或去除的材料。

2) 粗糙度與波紋度:能夠測量樣品的粗糙度和波紋度,分析軟件通過計算掃描出的微觀輪廓曲線,可獲取粗糙度與波紋度相關的Ra、RMS、Rv、Rp、Rz等數十項參數。

3) 具備薄膜應力測量功能。

 

2. 測量模式與分析功能

1) 單區域測量模式:完成Focus后根據影像導航圖設置掃描起點和掃描長度,即可開始測量。

2) 多區域測量模式:完成Focus后,根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,可根據橫向和縱向距離來陣列形成不低于30個掃描路徑區域,一鍵即可完成所有區域掃描路徑的自動測量,掃描分析次數15次。

3) 3D測量模式:完成Focus后根據影像導航圖完成單區域掃描路徑設置,并可根據所需掃描的區域寬度或掃描線條的間距與數量完成整個掃描面區域的設置,一鍵即可自動完成整個掃描面區域的掃描和3D圖像重建。

4) SPC統計分析:支持對不同種類被測件進行多種指標參數的分析,針對批量樣品的測量數據提供SPC圖表以統計數據的變化趨勢。

 

3. 快速換針功能

  采用了磁吸式測針,當需要執行換針操作時,可現場快速更換掃描測針,并根據軟件中的標定模塊進行快速自動標定,確保換針后的精度和重復性,減少維護煩惱。

圖2 磁吸針實物外觀圖

4. 雙導航光學影像功能

  在CP200型號中配備了正視和斜視的500W像素的彩色相機,在正視導航影像系統中可精確設置掃描路徑,在斜視導航影像系統中可實時跟進掃描軌跡。

 

三、技術參數

型號

CP200

樣品觀察

正視導航

500萬像素彩色攝像機

正視視野:10×13.4mm

斜視導航

500萬像素彩色攝像機

斜視視野:2×2.68mm

探針傳感器

高精度傳感器LVDT

測量力

1-50mg,連續可調,不破壞樣品

探針選型

探針曲率半徑2μm,夾角60°

平臺移動范圍X/Y

電動X/Y(200mm×200mm)(可手動校平)

樣品R-θ載物臺

電動,360°連續旋轉,8英寸大小

負載

14kg

單次掃描長度

55mm

掃描長度

200mm

樣品厚度

50mm

Z軸行程

50mm

垂直分辨率

0.1nm

臺階高度重復性*1

0.38nm
(測量1μm臺階高度)

傳感器量程

1050μm

掃描速度

2μm/s-10mm/s

掃描采樣點數

120000

儀器電源

100-240 VAC,50/60 Hz,200W

使用環境

相對濕度:濕度 (無凝結)30-40% RH

溫度:16-25℃ (每小時溫度變化小于2℃)

地面振動:6.35μm/s(1-100Hz)

注:*1 重復性數據均為配置了隔震臺后在符合VC-C的實驗室環境下測得,若不滿足該條件,則指標下修一倍;

 

四、典型應用

半導體應用

◆ 沉積薄膜的臺階高度
◆ 抗蝕劑(軟膜材料)的臺階高度
◆ 蝕刻速率測定
◆ 化學機械拋光(腐蝕、凹陷、彎曲)

大型基板應用

◆ 印刷電路板(突起、臺階高度)
◆ 窗口涂層
◆ 晶片掩模
◆ 晶片卡盤涂料
◆ 拋光板

玻璃基板及顯示器應用

◆ AMOLED
◆ 液晶屏研發的臺階步級高度測量
◆ 觸控面板薄膜厚度測量
◆ 太陽能涂層薄膜測量

柔性電子器件薄膜應用

◆ 有機光電探測器
◆ 印于薄膜和玻璃上的有機薄膜
◆ 觸摸屏銅跡線

 

 

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