臺式掃描電子顯微鏡（Desktop Scanning Electron Microscope, Desktop SEM）,又俗稱“桌上型掃描電鏡”或“Mini SEM”，相較于傳統大型SEM（落地式），臺式SEM具有體積小巧、操作簡便、價格便宜、快速抽真空等優勢，而且它的放大倍數可高達100,000倍以上。此類新型儀器的出現光學顯微鏡與落地式SEM之間的空白區域，可廣泛應用于材料科學、納米顆粒、生物醫學、食品藥品、紡織纖維、地質科學等諸多領域。
組成：
真空系統：一般采用機械泵與分子泵聯動
電子槍：一般為CeB6（ 六硼化鈰）或鎢燈絲，其中鎢燈絲的壽命較短，僅為40-100小時，需頻繁更換，CeB6燈絲壽命超過1500小時，且亮度更高。目前尚沒有采用 場發射（Field Emission）的臺式掃描電鏡。
電磁透鏡
探測器： 背散射電子或二次電子探測器，可選配EDS
特點：
放大倍數高（相對光學顯微鏡）
成像速度快
大景深
體積小巧
操作簡便
價格便宜
應用：
臺式掃描電鏡可以滿足絕大多數傳統SEM用戶的需求，其應用領域極其廣泛，包括：粉末、金相、制藥、造紙、半導體、微電子、生命科學 ……
