四、性能特色
1.高精度、高重復性
1）采用光學干涉技術、精密Z向掃描模塊和優異的3D重建算法組成測量系統，保證測量精度高；
2）的隔振系統，能夠有效隔離頻率2Hz以上絕大部分振動，消除地面振動噪聲和空氣中聲波振動噪聲，保障儀器在大部分的生產車間環境中能穩定使用，獲得的測量重復性。
2.一體化操作的測量分析軟件
1）測量與分析同界面操作，無須切換，測量數據自動統計，實現了快速批量測量的功能；
2）可視化窗口，便于用戶實時觀察掃描過程；
3）結合自定義分析模板的自動化測量功能，可自動完成多區域的測量與分析過程；
4）幾何分析、粗糙度分析、結構分析、頻率分析、功能分析五大功能模塊齊全；
5）一鍵分析、多文件分析，自由組合分析項保存為分析模板，批量樣品一鍵分析，并提供數據分析與統計圖表功能；
6）可測依據ISO/ASME/EUR/GBT等標準的多達300余種2D、3D參數。
3.精密操縱手柄
集成X、Y、Z三個方向位移調整功能的操縱手柄，可快速完成載物臺平移、Z向聚焦、找條紋等測量前工作。
4.雙重防撞保護措施
除初級的軟件ZSTOP設置Z向位移下限位進行防撞保護外，另在Z軸上設計有機械電子傳感器，當鏡頭觸碰到樣品表面時，儀器自動進入緊急停止狀態，限度的保護儀器，降低人為操作風險。
5.雙通道氣浮隔振系統
既可以接入客戶現場的穩定氣源也可以接入標配空壓機，在無外接氣源的條件下也可穩定工作。
五、應用案例：
