撿片機 (不帶檢AOI)
具體用途:用于把貼于藍膜等載具上的晶粒,根據測試結果或指定的map圖結果,挑選到指定的載具中。實現晶粒的挑選。
功能需求: 根據任務需求,要求撿片機設備具備以下功能:
(1)8寸(6寸,4寸)晶圓進料,客戶定制Tray盤出料(JDEC,GEL Pak 2/4 寸)
(2)機器可以按照輸入的mapping圖,判定良品和不良,自動將良品分裝入托盤
(3)頂針運動速度,加速度,高度;吸取頭的速度,加速度,位置;真空的吸著,破壞強度,時間等參數,都可以自由設定
(4)根據所內未來幾年型號產品的生產保障要求,提出對設備的指標需求如下:
(5)分揀工件尺寸最小:0.5mm×0.5mm
(6)分揀工件尺寸:15mm×15mm
(7)分揀放置位置精度:≤±0.1mm
(8)分揀放置角度精度:≤±1°
(9)擺放精度XY: ±50微米 θ:±0.5度