非接觸式膜厚測(cè)量?jī)x EA-160

產(chǎn)品描述:
◆高速度、高精度測(cè)量系統(tǒng)
◆160mm×160mm范圍測(cè)量
◆透明材質(zhì)穿透測(cè)量
◆測(cè)量膜厚、線寬、平面度等
◆多程序自由切換,方便靈活
技術(shù):
◆采用白光共焦技術(shù),分辨率達(dá)到5nm,量程13mm
◆0-160mm運(yùn)動(dòng)精度達(dá)到微米級(jí),X、Y方向無(wú)機(jī)械接觸,采用全閉環(huán)反饋系統(tǒng),實(shí)現(xiàn)高精度測(cè)量
◆高精度、高分辨率CCD系統(tǒng),結(jié)合effecttek軟體算法,支持影像定位輔助系統(tǒng)
應(yīng)用:
◆厚膜電路測(cè)量
◆晶圓涂膠測(cè)量
◆LTCC膜厚、線寬測(cè)量
◆MEMS測(cè)量
◆透明材質(zhì)測(cè)量
◆太陽(yáng)能面板測(cè)量
設(shè)備技術(shù)參數(shù):
項(xiàng) 目 | 技術(shù)參數(shù) |
外觀尺寸 | 950mm*650mm*500mm |
X、Y測(cè)量行程 | 160mm*160mm |
Z軸可調(diào)行程 | 50mm |
有效測(cè)量范圍 | 130mm*130mm |
掃描最小步距 | 1um |
掃描速度 | 30mm/s |
測(cè)試重復(fù)精度 | 20nm(標(biāo)樣) |
電 源 | AC220V±10%,50-60 Hz |