設備主要由管式加熱爐、真空腔體、真空抽氣及放氣系統、 智能控制系統構成，可以對試驗過程中的真空度和溫度進行有效地控制、監測和記錄，具有結構簡單、操作方便安全、外形美觀等特點。
1.管式爐加熱溫度1000℃，升溫速率0～15℃/min可調；
2.管式爐采用對開式結構，開啟方便，快捷；
3.均溫區內溫場均勻性±3℃，升溫過程中，有效加熱區平均升溫速率≤4℃/min前提下，溫度過沖不大于設置溫度3℃；
4.真空室采用臥式結構，材質為高純石英，滿足設備在百級潔凈間下的使用要求；
5.工件托架采用石英材質，可容納直徑200mm,12片晶圓；
6..設備可在高真空200℃情況下連續工作72小時以上，溫度波動＜2℃；
7.真空室可充入氮氣、氬氣，流量精確可控, 加裝分流裝置，并設置擋板，防止充氣過快對產品有沖擊；
8.配分子泵真空度6×10-4pa；
9、配高精度鎧裝熱電偶；
10.采用西尼特智能溫控軟件，PLC控制，配7寸觸摸屏，可設定30條工藝曲線，每條工藝曲線30步，可實時顯示存儲相關溫度曲線，存儲時間長達1200天。配備USB和以太網接口，可遠程監控；
11.本設備可以根據用戶需要提供定制；
