北京東方晨景科技有限公司提供的三維磁場(chǎng)探針臺(tái)，采用無(wú)磁材料制成，三對(duì)類亥姆霍茲線圈正交放置，產(chǎn)生空間三維磁場(chǎng)，線圈采用水冷結(jié)構(gòu)，并且配備有線圈過(guò)熱保護(hù)裝置，可以長(zhǎng)時(shí)間穩(wěn)定工作。通過(guò)軟件或者電源前面板控制每一維上的輸出電流，可以產(chǎn)生空間任意方向的矢量磁場(chǎng)。探針臺(tái)配備有可移動(dòng)樣品臺(tái)，可以實(shí)現(xiàn)水平方向二維移動(dòng)和樣品臺(tái)360度轉(zhuǎn)動(dòng)，便于樣品的安裝和測(cè)試。探針臺(tái)具有四個(gè)高精度探針臂，同時(shí)配有高精度電子顯微鏡，便于微小樣品的觀察操作。探針可通過(guò)直流或者低頻交流信號(hào)，用來(lái)測(cè)試芯片、晶圓片、封裝器件等，廣泛應(yīng)用于半導(dǎo)體工業(yè)、MEMS 、超導(dǎo)、電子學(xué)、鐵電子學(xué)、物理學(xué)、材料學(xué)和生物醫(yī)學(xué)等領(lǐng)域。

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)和東方晨景自主研發(fā)的高精度雙極性電源相匹配，通過(guò)真正的雙極性電源輸出，實(shí)現(xiàn)了空間任意方向上的矢量場(chǎng)合成.

三維磁場(chǎng)探針臺(tái)參數(shù)

◆ X軸線圈外徑：640mm

◆ Y軸線圈外徑：470mm

◆ Z軸線圈外徑：260mm

◆ X軸線圈間距：240mm

◆ Y軸線圈間距：126mm

◆ Z軸線圈間距：100mm

◆ X軸線圈電流：≤14A

◆ Y軸線圈電流：≤14A

◆ Z軸線圈電流：≤14A

◆ X軸中心磁場(chǎng)：≥300Gs

◆ Y軸中心磁場(chǎng)：≥300Gs

◆ Z軸中心磁場(chǎng)：≥300Gs

◆ X軸均勻度（Φ20球體）：0.1%

◆ Y軸均勻度（Φ20球體）：0.07%

◆ Z軸均勻度（Φ20球體）：0.5%

◆ 線圈冷卻形式：水冷

◆ 線圈工作溫度：＜60℃

◆ 總重量：約330㎏

樣品臺(tái)參數(shù)

◆ 樣品臺(tái)直徑：102mm(可更換)

◆ X方向行程：±51mm

◆ Y方向行程：±51mm

◆ 旋轉(zhuǎn)角度：360°

◆ 旋轉(zhuǎn)精度：0.1°

◆ 材料：無(wú)磁

探針座參數(shù)

◆ X向行程：±6mm

◆ Y向行程：±6mm

◆ Z向行程：±6mm

◆ 分辨率：20μm

◆ 三圍尺寸：38W*62D*54H

◆ 重量：200克

注：探針座可選

探針參數(shù)

◆ 長(zhǎng)度：38mm

◆ 直徑：0.51mm

◆ 針尖直徑：10μm

◆ 材料：鎢

注：探針可選

顯微鏡參數(shù)

◆ 成像元件：CMOS

◆ 成像原件像素：1000萬(wàn)

◆ 有效像素：1280*1024

◆ 連續(xù)變倍：6X-600X

◆ 視場(chǎng)范圍：3.5mm-35mm

◆ 調(diào)焦范圍：65mm

◆ 鏡頭直徑：50mm

◆ 最小分辨率：1微米

◆ 十字光標(biāo)：4組

◆ 輸出視頻：VGA

◆ 顯示器：19寸LCD

注：顯微鏡可選