高精度、簡單的操作,自動測量與記錄是新一代光學測量儀器的特征。 OTS系列設備出色地滿足了這些要求,從而為計算機輔助的光學制造質量控制打開了大門。
OTS儀器具有如下特點:
◆ 采用平行光管的透、反測量
◆ 高精度直線導軌(帶直線度補償)
◆ 通過對成像的評價,實現客觀,快速,高精度測量
◆ 自動對焦功能,避免操作人員的影響
◆ 測量頭電動,軟件控制;可選操作桿控制
◆ 十字叉絲開關電動控制
◆ 專門的測試分析軟件
◆ 計算機控制,界面易懂,操作簡單
可測量如下參數:
◆ 有效焦距(EFL)
◆ 后焦距(BFL)
◆ 曲率半徑(R)
◆ 法蘭焦距(FFL)
◆ 軸上MTF
◆ 透鏡中心偏差 *
◆ 柱面鏡的扭曲度、對稱度與楔角 *
◆ 平面元件的擴展測量,如窗口平行度、楔角、直角棱鏡等 *
* 注:擴展功能,需配備可選機械夾具與軟件功能才能進行。
項目 | OTS 200 | OTS 500 | |
焦距 EFL、后焦距 BFL、法蘭焦距FFL、曲率半徑 R | |||
測量范圍 | ±600mm | 5...1200mm | |
-5...-1200mm | |||
重復性 | ±0.04…±0.3% | ||
精度 | ±0.3% | ||
調制傳遞函數 MTF | |||
重復性與精度 | ±3% | ||
MTF測量空間頻率 | 0 - 200 lp/mm | ||
中心偏測量 | |||
重復性 | ±0.02…±0.2% | ||
精度 | 5 um (±1”) | ||
楔角 | |||
測量精度 | ±1” | ||
角度分辨率 | 0.1” | ||
系統參數 | |||
CCD 相機 | 高分辨率線性 CCD 相機,440,000 像素 | ||
通光孔徑 | ф28mm | ф65mm | |
自準直儀焦距 | 200mm | 500mm | |
自動對焦 | 是 | ||
樣品直徑 | ф100mm | ф200mm |
◆ 柱面鏡測量夾具附件
◆ 中心偏測量附件