| 項目 | 內容 |
|---|---|
| 適用電池類型 | 230mm及以下尺寸，厚度100-220μm |
| 載物臺控制 | 精密電缸精確控制，行程250mm x 250mm，帶真空吸附，顯微鏡鏡頭輔助對準 |
| 測試范圍 | 接觸電阻率：0.1~120mΩ*cm*2； 線電阻測量范圍：0.2~40Ω/cm； |
| 可測樣品寬度 | 5-10mm |
| 恒流源 | 1mA-10mA |
| 電阻分辨率 | 1uΩ |
| 測量電流 | 10mA（開放可更換） |
| 測試重復性 | 靜態(tài)測量≤1.5%，動態(tài)測量≤4%（動態(tài)：5次測試） |
| 測量壓放控制 | 采用精密電動位移軸，程序智能控制探針下壓量，控制精度高達5um |
| 測量方式 | 自動X、Y、Z方向 |
| 測量的點數(shù) | 4-8 |
| 探針基本指標； | 材質：鍍金探針； 探針直徑：0.9mm； 探針壓力：0.4~0.7N可調； 探針壽命：>100000次； 針間絕緣電阻：≥1000M?； 機械游移率：≤0.3%； 探針：碳化鎢或高速鋼Ф0.5mm； |
| 探針間距 | 標配：1.1.0-1.2mm可調式探頭 2.0.9mm固定式探頭； 3.選配：其他規(guī)格可按需求定制 |
| 軟件功能 | 1.測試數(shù)據(jù)分析存儲功能 2.測量數(shù)據(jù)可導出Excell格式 3.測試數(shù)據(jù)可生成直方圖 |
