光強均勻、頻譜穩(wěn)定
美能Poly5000在線膜厚測試儀采用鎢鹵素燈，有效光譜范圍320nm~2400nm，發(fā)射出連續(xù)光譜，涵蓋了從紫外線到紅外線的所有光波段。一臺機器覆蓋多臺機器的測量范圍，保證測試結果的準確性。
毫秒級別采樣速度
美能Poly5000光譜儀專門針對光伏應用客戶設計并開發(fā)，光譜范圍300~1100nm，光斑70μm，適用光伏行業(yè)的測試環(huán)境及條件。配合美能的光譜擬合法，最終擬合獲得薄膜厚度和光學常數(shù)，實現(xiàn)超廣測量范圍20nm~2000nm和0.5nm的超高重復性精度。
全新智能地操作體驗
美能Smart Poly操作軟件，快速、智能且易于使用。使用直觀且用戶友好的獨立PC程序無需用戶自己編寫任何代碼即可快速表征材料。操作軟件確保準確的結果，以便對材料進行廣泛的電氣表征。
Poly膜厚在線監(jiān)控
?99%Poly-si沉積工藝監(jiān)控，提高產(chǎn)品良率
?非接觸、無損測量，零碎片率，保證生產(chǎn)效率
?提高產(chǎn)線自動化生產(chǎn)水平，機器自動測試代替人工離線測試，節(jié)約人力成本
?測試速度快，單片測試時間＜0.5s
?膜厚重復性測量精度：＜0.5nm（100次連續(xù)測試）
