德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設計
POLOS 為半導體、生命科學、食品、實驗室和制藥行業(yè)提供設備,特別是為大學、研發(fā)機構和小型生產(chǎn)設施提供支持。我們的產(chǎn)品組合包括用戶友好和高度耐用的系統(tǒng),主要應用于光刻和配置工藝領域。POLOS 公司成立于 2003 年,第一條產(chǎn)品線是單晶片旋轉(zhuǎn)涂層系統(tǒng)。
主要產(chǎn)品:
SPS-POLOS旋涂機
SPS-POLOS勻膠機
SPS-POLOS光刻機
SPS-POLOS Spin200i旋涂機
POLOS Spin200i 是一種多功能、高質(zhì)量的基材旋涂機,由 PTFE 或 NPP 制成。它專為研發(fā)和小批量生產(chǎn)而設計。臺式型號可手動或自動(可選)分配化學品。
適用于鍍膜、清潔、沖洗/干燥、顯影、蝕刻、PDMI 及其他工藝。
適用于最大 8 英寸(200 毫米)晶圓
適用于最大 6 英寸 x 6 英寸(150 毫米)基板
材料 天然聚丙烯 (NPP)
12.000 RPM(取決于基底/卡盤)
高加速度和高精度
手動化學品分配
CW 和 CCW 旋轉(zhuǎn)
帶可定制圖標的彩色觸摸屏
USB 端口
型號示例:
SPS-POLOS旋涂機SPIN150X
SPS-POLOS旋涂機SPIN200i
SPS-POLOS旋涂機SPIN4000A
SPS-POLOS旋涂機SPIN5000A
德國SPS-POLOS旋涂機SPIN200i為小批量生產(chǎn)而設計