產品詳情
高頻輸出 100~1,000W（V1000）/100~1,000W&1,500W（V1000X/1000XS）
電極尺寸 280×280mm（V1000） 300×300mm（V1000X） 400×375mm（V1000XS）
使用等離子的表面處理裝置。著重于“使用簡單”的臺式高性能型號，調取數據簡單，以電子材料為中心，可對應多種用途。
特征
● 可變更電極構造提高等離子效果。
● 搭載高精度適配器，高性能RF 電源。
● 可根據需求規格提供定制。
用途
● 硅晶圓的灰化及蝕刻
● 基板表面污垢處理
● IC/LED封裝、BGA/CSP基板處理
● 半導體相關部品的電子材料的干式清洗
● 自然氧化膜·有機物去除
● 界面活性處理
● 表面污染物去除
內槽
規格
| 型號 | V1000 | V1000X | V1000XS |
| 等離子模式 | DP/RIE | ||
| 高頻電源 | 13.56MHz | ||
| 輸出功率 | Max1000W | Max1000 & 1500W | |
| 有效電極尺寸 | W280×D280mm | W300×D300mm | W400×D375mm |
| 電極 | 平行平板 | 2段電極（獨立） | 平板（多目的） |
| 反應氣體 | 聚合控制器2系統（填充氣路另行安裝） | ||
| 真空泵（標配） | 約1000L/min | 約1500L/min | 1000 & 1500L/min |
| 安全裝置 | 門檢測開關、聯鎖機構、緊急停止開關、溫度過升防止器等 | ||
管路連接圖
