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簡(jiǎn)介
我司不僅僅為客戶提供實(shí)驗(yàn)使用、科研需求的薄膜檢測(cè)、分析儀器,同時(shí)也為廣大工業(yè)用戶提供在線檢測(cè)的系統(tǒng)方案。不僅可在線檢測(cè)導(dǎo)電薄膜的面電阻、膜厚、薄膜均勻性,并且可集成光學(xué)反射率、透過率等的功能。
規(guī)格參數(shù)
測(cè)量模式:非接觸式實(shí)時(shí)測(cè)量
襯底:foils, glass, wafer等
檢測(cè)間距:1 / 5 / 10 / 15 / 25 / 50 mm (可定制其他)
傳感器數(shù)目:1 – 99
面阻范圍: 0.0001~1000 Ohm/sq
薄膜厚度:2nm – 2mm(依據(jù)面阻而定)
工作環(huán)境:真空 / 非真空
工作溫度:< 60°C/ 140°F (< 90°C/ 194°F 需定制)
采樣率:1 / 10 /50 /100 /1,000 data/s
配套設(shè)備(選配):硬件觸發(fā) / 條形碼閱讀器
選配功能:導(dǎo)電膜厚度/ 光透射率 / 反射率 / 色度等
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