NE-PE80F等離子體表面處理機由外殼、真空腔室、氣體管道、真空泵、真空壓力計、射頻電源及匹配器、傳感器、控制元件和電子系統(tǒng)等組成。工作原理是在真空狀態(tài)下，利用射頻電源產(chǎn)生的高壓交變電場將工藝腔室內(nèi)的氧、氬、氫氣等工藝氣體震蕩形成具有高能量和高反應活性的等離子體，活性等離子體與微顆粒污染物或有機污染物發(fā)生物理轟擊或化學反應，使被清洗表面物質(zhì)變成粒子和揮發(fā)性氣態(tài)物質(zhì)，然后隨工作氣流經(jīng)過抽真空排出，從而達到清潔、活化表面的目的。
產(chǎn)品參數(shù)：
| 型號 | NE-PE60F等離子體表面處理機 |
| 頻率 | 40KHz/13.56MHz |
| 功率 | 0-1000W可調(diào) |
| 腔體容積 | 80L |
| 腔體尺寸 | 450(W)*470(D)*355(H)m |
| 電極板數(shù)量 | 3層 |
| 氣路數(shù)量 | 配置2路工藝氣路，可支持氧氣，氬氣，氮氣，氫氣，四氟化碳等 |
| 工作真空度 | ＜30Pa |
| 控制系統(tǒng) | PLC |
| 外形尺寸 | 1100mm(L)×1040mm(W) ×1640 mm(H) |
產(chǎn)品特點：
?耐用的高品質(zhì)不銹鋼結(jié)構(gòu)和固定裝置
?不銹鋼托盤設計，可調(diào)節(jié)托盤間距
?8K鏡面不銹鋼腔體，密封性
?13.56射頻等離子發(fā)生器，產(chǎn)生高密度等高子體，確保出眾的清洗效果；
?直觀的觸摸屏，過程參數(shù)實時監(jiān)控。
?方便的定期校準設備連接驗證過程中使用的要求
?支持各種工藝氣體，包括氬氣，氧，氫，氦和氟化氣體
?通過聯(lián)鎖門或可移動的板
?高精度氣體流量監(jiān)測系統(tǒng)，兩路工藝氣體配置(氬氣、氧氣），雙路氣流控制，比例可調(diào)，采用高精度電子質(zhì)量流量計(MFC)、針閥、美國世維洛克氣體管路
產(chǎn)品應用：
引線鍵合前：芯片粘貼到基板上后，經(jīng)過高溫固化，其上存在的污染物可能包含有微顆粒及氧化物等，這些污染物使引線與芯片或基板么間枯附性差，造成鍵合強度不夠。在引線鍵合前進行等離子處理，會顯著提高其表面活性，從而提高引線鍵合強度。
點導電膠前：基板上的污染物會導致基板浸潤性差，點膠后不利于膠液平鋪，膠液呈圓球狀。使用等離子處理可以使基板表面浸潤性大大提高，有利于導電膠平鋪及芯片粘貼，提高芯片粘接強度。
CFRP表面處理：經(jīng)等離子處理后，CFRP的表面粗糙度明顯降低，表面高度差顯著減小，表面形成了微米級溝壑，使其表面積增加；同時，等離子處理后，電離了空氣中的N2及O2，使得CFRP表面含氧官能團、N元素均明顯增加，并清除了表面污染物。
塑料薄膜：等離子處理主要應用在食品包裝薄膜的清洗、消毒、表面刻蝕等處理工序，經(jīng)過處理后的薄膜表面生成許多極性基團，親水性和界面粘接能力明顯增加，使得添加親水性抗菌物質(zhì)對薄膜表面進行進一步改性成為可能。
低溫等離子體表面處理機是一種工藝簡單、操作方便、無化學試劑殘留，對環(huán)境友好的干式表面處理設備，主要作用于材料的表層，對材料結(jié)構(gòu)不會造成巨大的損害。這很適合處理各種材料，在保留結(jié)構(gòu)完整的同時又使表面的性能得到改善，如改提高分子材料的潤濕性、親水性、粘附性、生物相容性等性能。
