佳能KrF光刻機FPA-6300ESW采用248nmKRF曝光光源,分辨率130nm,專為12英寸晶圓設計。
FPA-6300ESW 掃描儀配備了廣角鏡頭
通過改變投影鏡頭的放大倍率(4:1 → 3.125:1),FPA-6300ESW掃描儀實現了更寬的曝光范圍,而標線片尺寸保持在6英寸。
FPA-6300ESW是世界上一款無需拼接即可曝光全尺寸CMOS圖像傳感器的 KrF 掃描儀,因為一次可以曝光33mmx42.2 mm。
*拼接曝光:通過連接兩個或多個相鄰曝光區域來增加曝光場大小的方法。相鄰曝光區域的定位精度和對準直接影響良率。
FPA-6300ESW掃描儀源自久經考驗的 FPA-6300ES6a平臺
FPA-6300ESW掃描儀采用為支持前端 (FEOL) 半導體制造工藝而開發的技術,能夠提供與FPA-6300ES6a掃描儀相似的利用率和可靠性。
FPA-6300ESW掃描儀還具有可擴展平臺,允許現場升級以提高生產力和疊加精度。