半導體特氣檢測儀XD-303
半導體特氣檢測儀XD-303 特點:
采用定電位電解式傳感器,對被測氣體具有選擇性。
高檢測靈敏度。
能檢測很多種類的半導體特氣。
液晶數字顯示。
型 號 | XD-303AH | XD-303PH | XD-303BH | XD-303 |
檢測對象氣體 | 砷烷 (ASH3) | 磷烷 (PH3) | (B2H6) | 其它 |
檢 測 范 圍 | 1ppm 0~0.2ppm | 0~1ppm 0~0.3ppm | 0~1ppm | 因規格而異 |
最 小 刻 度 | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm 0.01ppm | 0.1ppm | |
采 樣 方 式 | 自動吸引式 | |||
應 答 速 度 | 60%應答40秒 |
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