為克服器件制造的設備空間限制,矽碁科技開發出適合2英寸晶圓的小型半導體制造平臺-Mini Line,配置靈活,占地面積小,運行成本低。適用于科研和企業用戶教學和小批量器件制造。
優勢:
1 設備成本低;
2 運行能耗低;
3 占地面積小;
4 制造效率高;
5 配置方式靈活;
可集成設備清單:
1 多靶槍磁控濺射
2 電子束蒸發
3 熱蒸發
4 PECVD
5 RIE
6 PEALD
7 ALE
8 Annealing
9 Plasma treatment