一鍵批量分析白光干涉測頭
SuperView WX 100白光干涉測頭是一款非接觸式精密光學測頭，其基于白光干涉和精密掃描研制而成，主要由光學干涉系統(tǒng)和Z向掃描系統(tǒng)組成，具有體積小、重量輕、便攜的特點，能夠方便地搭載在各種具備XY水平位移架構(gòu)的平臺上，在產(chǎn)線上對器件表面進行自動化形式的測量，直接獲取與表面質(zhì)量相關(guān)的粗糙度、輪廓尺寸等2D/3D參數(shù)。
產(chǎn)品功能
1、測量功能：能夠?qū)崿F(xiàn)樣件表面的高精密Z向掃描，獲取3D圖像；
2、分析功能：能夠獲取關(guān)于表面質(zhì)量的粗糙度、微納級別的輪廓尺寸等2D、3D數(shù)據(jù)；
3、編程功能：支持預配置數(shù)據(jù)處理和分析工具步驟，一鍵完成測量到分析全過程；
4、批量分析：可根據(jù)需求參數(shù)定制數(shù)據(jù)處理和分析模板，針對同類型參數(shù)數(shù)據(jù)實現(xiàn)一鍵批量分析；
一鍵批量分析白光干涉測頭
應用領(lǐng)域:
對各種產(chǎn)品、部件和材料表面的粗糙度、波紋度、面形輪廓、表面缺陷、磨損情況、腐蝕情況、孔隙間隙、臺階高度、加工情況等表面形貌特征進行測量和分析。
應用范例：
| 半導體.拋光硅片、減薄硅片、晶圓IC |
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| 3C電子.藍寶石玻璃粗糙度、金屬殼模具瑕疵、玻璃屏高度差 |
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