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佳能二手翻新步進式光刻機FPA-3030EX6,用于物聯網設備

參考價
面議
具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
  • 人氣值10619
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公司主營實驗室分析檢測儀器設備,以實驗室整體建設為發展方向。公司目前涉及電子電器、醫藥生物、石油化工、食品、機械、新材料、環境、科研高校等諸多領域。聯合山東醫藥化工設計院,美國安捷倫、美國熱電、日本島津、江蘇天瑞等眾多品牌及多個***重點實驗室從實驗室布局設計出圖、基礎設施建設、儀器設備供應、方法開發建立、后期運營管理,形成完整的專業實驗室建設體系,達到一站式服務,為眾多行業客戶提供更為完善的整體解決方案。
公司主營產品分為四大類,光譜儀、色譜儀、質譜儀和環境在線檢測。
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佳能半導體光刻設備-步進式光刻機FPA-3030EX6,專用于物聯網設備的KrF光刻機,分辨率達到150nm,可用電腦進行遠程操控
佳能二手翻新步進式光刻機FPA-3030EX6,用于物聯網設備 產品詳情

佳能半導體光刻設備-步進式光刻機FPA-3030EX6,專用于物聯網設備的KrF光刻機,分辨率達到150nm,可用電腦進行遠程操控。

佳能二手光刻機FPA-3030EX6

特點與優勢:

FPA-3030EX6步進器兼容多種特殊基板&小尺寸基板

FPA-3030EX6 配備與經過驗證的 FPA-3030i5+ i-line 步進機相同的晶圓進給系統,支持處理用于制造物聯網和功率設備的各種材料、尺寸和厚度的基板。

FPA-3030EX6 在 KrF 準分子激光步進器中提供的性能

繼承了前代型號 FPA-3000EX6 步進機的性能,在同級別的 KrF 準分子激光步進機中實現了別的分辨率(150 nm)、重疊精度(25 nm)和生產率(吞吐量*121 wph)。

200 毫米(8 英寸)晶圓,60 次

FPA-3030EX6 步進器與 FPA-3000EX6 標線和配方兼容

與 FPA-3000EX6 標線和配方的兼容性允許有效使用現有設施和資產。

規格參數

解析度
≦ 150 納米
NA(數值孔徑)
0.65~0.50(可變)
減速比
1:5
字段大小
22 毫米 x 22 毫米
曝光波長
KrF 248 納米
光罩尺寸
6英寸
晶圓尺寸
100 毫米(4 英寸)、125 毫米(5 英寸)、150 毫米(6 英寸)、200 毫米(8 英寸)(選擇)
疊加精度
≦ 25 納米
主要選項
用于特殊基板的晶圓處理套件
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