佳能半導體光刻設備-步進式光刻機FPA-3030EX6,專用于物聯網設備的KrF光刻機,分辨率達到150nm,可用電腦進行遠程操控。
特點與優勢:
FPA-3030EX6步進器兼容多種特殊基板&小尺寸基板
FPA-3030EX6 配備與經過驗證的 FPA-3030i5+ i-line 步進機相同的晶圓進給系統,支持處理用于制造物聯網和功率設備的各種材料、尺寸和厚度的基板。
FPA-3030EX6 在 KrF 準分子激光步進器中提供的性能
繼承了前代型號 FPA-3000EX6 步進機的性能,在同級別的 KrF 準分子激光步進機中實現了別的分辨率(150 nm)、重疊精度(25 nm)和生產率(吞吐量*121 wph)。
200 毫米(8 英寸)晶圓,60 次
FPA-3030EX6 步進器與 FPA-3000EX6 標線和配方兼容
與 FPA-3000EX6 標線和配方的兼容性允許有效使用現有設施和資產。