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二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7

參考價
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具體成交價以合同協議為準
  • 型號
  • 品牌
  • 所在地
  • 更新時間2022-05-27
  • 廠商性質經銷商
  • 所在地區青島市
  • 實名認證已認證
  • 產品數量441
  • 人氣值10630
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現有二手尼康Nikon翻新現貨光刻機NSR-1755i7一臺,價格大約$650,000左右,針對4寸/6寸晶圓,分辨率0.6umumLS
二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7 產品詳情

現有二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7一臺,價格大約$650,000左右,針對4寸/6寸晶圓,分辨率0.6 um um L&S

Nikon光刻機NSR-1755 i7用于集成電路生產過程中的微光刻工藝,通過投影成像方式,把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復曝光在涂有膠層的硅片表面。

光刻機NSR-1755 i7含有硅片自動傳輸系統、版庫自動管理系統、可編程掩模光欄、自動調焦調平、硅片自動對準、掩模板自動對準、鏡頭倍率及焦點自動控制、曝光能量的自動補整、腔體溫度環境控制、故障顯示報警等*功能。

二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7

光刻機NSR-1755 i7B型投影光刻機基本工作過程:把曝光掩模和硅片分別裝入掩模庫和硅片承載臺以后;通過操作設備的控制系統,使設備按照所需設定的制作程序自動完成掩模、硅片的傳遞交換,并根據生產工藝需要進行自動對準、自動調焦調平、自動分步曝光等工作過程。

參數介紹

主機部分
序號 名稱 主要參數
1、 投影鏡頭 5:01
2、 照明系統 I 線汞燈
3、 自動調焦調平系統
4、 掩模對準系統 TTL 對準方式
5、 硅片對準系統 LSA 對準方式
6、 激光干涉儀測量系統 HP 激光測長
7、 X-Y 工作臺
8、 承片臺 4 寸或6寸晶圓的自動傳輸,吸盤為陶瓷材質,手臂為陶瓷材質。
9、 硅片傳輸系統 4 或6寸手動切換
10、 掩模傳輸系統 5inch 結構
11、 凈化恒溫腔室 內部環境控制及動力控制
控制柜部分
序號 名稱 用途
1、 工作臺控制單元 控制工作臺按照產品工藝規劃運動
2、 激光干涉儀計數器 測量工作臺運動位置
3、 掩模對準控制單元 掩模版位置檢測
4、 鏡頭控制單元 鏡頭倍率及焦點跟蹤控制
5、 晶圓傳輸控制單元 晶園的傳遞、預定位、交換等過程控制
6、 掩模傳輸控制單元 Reticle 管理、預定位、交換等過程控制
7、 恒溫腔體控制單元 整機電源、內部凈化、溫度等檢測控制
8、 操作臺 主控過程人機操作界面
9、 計算機系統 整機主控計算機和系統控制應用程序
10、 CRT (監視器) 圖形和控制界面顯示
11、 ITV 控制器 用于對準過程檢測和手動輔助操作

運輸與保管

合同設備各部分重量:主機重量(凈重)2500Kg,控制柜重量 500Kg,變壓器重量 290Kg。

合同設備運輸采用半導體專用設備減震車運輸。

合同設備對環境要求:溫度控制在19~24℃之間,濕度小于 70%

用戶在收到合同設備及其附件后,應即刻運送存放在滿足溫度、濕度要求的廠房內,切勿露天或在溫濕度不受控的環境存放。

合同設備在運輸過程中,應避免沖擊和震動,輕搬輕放。嚴格要求具有防振、減震措施,搬運過程中振動不大于 1G


二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7價格大約65萬美金左右,更多詳細參數和技術修改以及方案對接,請咨詢我們進行詳談。

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