現有二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7一臺,價格大約$650,000左右,針對4寸/6寸晶圓,分辨率0.6 um um L&S。
Nikon光刻機NSR-1755 i7用于集成電路生產過程中的微光刻工藝,通過投影成像方式,把掩模版上集成電路圖形以高分辨率、高精度、高效率的方式分步重復曝光在涂有膠層的硅片表面。
光刻機NSR-1755 i7含有硅片自動傳輸系統、版庫自動管理系統、可編程掩模光欄、自動調焦調平、硅片自動對準、掩模板自動對準、鏡頭倍率及焦點自動控制、曝光能量的自動補整、腔體溫度環境控制、故障顯示報警等*功能。
光刻機NSR-1755 i7B型投影光刻機基本工作過程:把曝光掩模和硅片分別裝入掩模庫和硅片承載臺以后;通過操作設備的控制系統,使設備按照所需設定的制作程序自動完成掩模、硅片的傳遞交換,并根據生產工藝需要進行自動對準、自動調焦調平、自動分步曝光等工作過程。
參數介紹
主機部分 | ||
序號 | 名稱 | 主要參數 |
1、 | 投影鏡頭 | 5:01 |
2、 | 照明系統 | I 線汞燈 |
3、 | 自動調焦調平系統 | |
4、 | 掩模對準系統 | TTL 對準方式 |
5、 | 硅片對準系統 | LSA 對準方式 |
6、 | 激光干涉儀測量系統 | HP 激光測長 |
7、 | X-Y 工作臺 | |
8、 | 承片臺 | 4 寸或6寸晶圓的自動傳輸,吸盤為陶瓷材質,手臂為陶瓷材質。 |
9、 | 硅片傳輸系統 | 4 或6寸手動切換 |
10、 | 掩模傳輸系統 | 5inch 結構 |
11、 | 凈化恒溫腔室 | 內部環境控制及動力控制 |
控制柜部分 | ||
序號 | 名稱 | 用途 |
1、 | 工作臺控制單元 | 控制工作臺按照產品工藝規劃運動 |
2、 | 激光干涉儀計數器 | 測量工作臺運動位置 |
3、 | 掩模對準控制單元 | 掩模版位置檢測 |
4、 | 鏡頭控制單元 | 鏡頭倍率及焦點跟蹤控制 |
5、 | 晶圓傳輸控制單元 | 晶園的傳遞、預定位、交換等過程控制 |
6、 | 掩模傳輸控制單元 | Reticle 管理、預定位、交換等過程控制 |
7、 | 恒溫腔體控制單元 | 整機電源、內部凈化、溫度等檢測控制 |
8、 | 操作臺 | 主控過程人機操作界面 |
9、 | 計算機系統 | 整機主控計算機和系統控制應用程序 |
10、 | CRT (監視器) | 圖形和控制界面顯示 |
11、 | ITV 控制器 | 用于對準過程檢測和手動輔助操作 |
運輸與保管
合同設備各部分重量:主機重量(凈重)2500Kg,控制柜重量 500Kg,變壓器重量 290Kg。
合同設備運輸采用半導體專用設備減震車運輸。
合同設備對環境要求:溫度控制在19~24℃之間,濕度小于 70%。
用戶在收到合同設備及其附件后,應即刻運送存放在滿足溫度、濕度要求的廠房內,切勿露天或在溫濕度不受控的環境存放。
合同設備在運輸過程中,應避免沖擊和震動,輕搬輕放。嚴格要求具有防振、減震措施,搬運過程中振動不大于 1G。
二手尼康Nikon翻新現貨 光刻機NSR-1755 i7價格大約65萬美金左右,更多詳細參數和技術修改以及方案對接,請咨詢我們進行詳談。