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多自由度微動平臺

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MEMS多維度微動平臺是利用MEMS執行器驅動平臺以及所載物體在多個維度上實現移動
多自由度微動平臺 產品詳情

MEMS多維度微動平臺是利用MEMS執行器驅動平臺以及所載物體在多個維度上實現移動。伴隨各類系統不斷集成化,小型化的,以及精度,可靠性等性能要求的不斷提高,MEMS微動平臺以其體積小,精度高,功耗低,速度快等優勢在各個領域中有著極為廣闊的應用場景。

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