OTF-1200X-80-I-F3LV是一款通過CE認證的單溫區管式爐CVD系統，其管徑為80mm，采用機械泵，供氣系統為三路浮子供氣系統，其真空度可達到 10-2 torr。
| 性能指標和基本配置 | |
|---|---|
| 殼體結構 | 雙層爐殼結構，風冷循環，降低外殼溫度. 殼體表面溫度＜ 55oC 內爐膛表面涂有美國進口的高溫氧化鋁涂層可以提高設備的加熱效率，同時也可以延長儀器的使用壽命 |
| 電壓 | AC 208-240V 單相 50 Hz |
| 功率 | 3KW |
| 溫度 | 1200°c |
| 工作溫度 | 1100°c |
| 升溫速率 | <= 20°c in=""> |
| 爐管規格及材質 | 石英管: OD: 80mm x ID: 75 mm x Length: 1000 mm |
| 加熱區長度 | 400mm |
| 恒溫區長度 | 150 mm(+/-1 ℃) 注：由于測量手段及外部環境的影響，測量結果可能會有偏差，此參數僅供參考不作為該設備的技術指標。您購買產品需要準確的恒溫區數據，請與我公司銷售人員聯系 |
| 控溫系統 | PID30段程序化控溫 控溫儀表操作視頻 |
| 控溫精確度 | +/ - 1°C |
| 加熱元件 | 摻鉬鐵鉻鋁合金電阻絲，表面涂有氧化鋯涂層，可以的延長儀器的使用壽命 |
| 真空密封系統 | 兩個不銹鋼密封法蘭(上面已安裝真空計和截止閥），漏氣率6 mtorr/min |
| 真空泵 | 采用雙旋機械泵 |
| 防腐型真空計 | 可選：本公司進口的防腐型數字式真空顯示計，其測量范圍為3.8x10-5 至 1125 Torr. 不需因測量氣體種類不同而需要系數轉換。（點擊圖片查看詳細介紹） |
| 混氣系統 | 三個浮子流量計(準確率4%FS) 三路浮子量程分別為 10-100 cc/min. 16-160 cc/min. 25-250 cc/min 內部安裝有一混氣罐
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| 開門斷電 | 為保證使用安全，該電爐為開門斷電設計 |
| 尺寸 | 爐體尺寸: 550 x 380 x 520 mm, 混氣系統尺寸: 600x600x597 mm |
| 重量 | 約 60 Kg |
| 質保期 | 整機保修一年,相關耗材除外.(如爐管、密封圈、加熱絲.) |
| 質量認證 | CE 認證 所有電器元件（>24V）都通過 UL / MET / CSA 認證 若客戶出認證費用，本公司保證單臺設備通過德國 TUV 認證或 CAS 認證 |
注意事項 | ①爐管內氣壓不可高于 0.02MPa ②由于氣瓶內部氣壓較高，所以向爐管內通入氣體時，氣瓶上必須安裝減壓閥，建議在本公司選購減壓閥，本公司減壓閥量程為 0.01MPa-0.1MPa,使用時會更加精確安全 ③當爐體溫度高于 1000℃時，爐管內不可處于真空狀態，爐管內的氣壓需和大氣壓相當，保持在常壓狀態 ④進入爐管的氣體流量需小于 200SCCM，以避免冷的大氣流對加熱石英管的沖擊 ⑤石英管的長時間使用溫度＜1100℃ ⑥對于樣品加熱的實驗，不建議關閉爐管法蘭端的抽氣閥和進氣閥使用。若需要關閉氣閥對樣品加熱，則需時刻關注壓力表的示數，若氣壓表示數大于 0.02MPa，必須立刻打開泄氣閥，以防意外發生（如爐 管破裂，法蘭飛出等） |
