這款單軸壓電致動器Piezo Actuator是為壓電掃描定位設計的壓電促動器,廣泛用于掃描探針顯微鏡壓電掃描和原子力顯微鏡壓電致動和微納操作,適合在開放和閉環系統中的光學壓電驅動和掃描探針壓電驅動應用。
單軸壓電致動器的中心部件具有可移動性,掛在柔性彈簧上,由壓電致動器驅動,確保了較高剛性和高穩定性。相比于經典的壓電陶瓷管的壓電掃描臺(球形掃描面),單軸壓電致動器具有更好的位移線性和平整度,并具有更高機械強度。
單軸壓電致動器Piezo Actuator配備了電容位移傳感器,包括于數字反饋鏈系統內,用于數字閉環控制,它保證了高精度和線性位移,消除了壓電陶瓷固有的蠕變效應。其中,電容測量采用TDC時間數字轉換器,測量電子電路距離傳感器更近,這種設計具有更低噪音和更高速度的位移控制。
這款單軸壓電致動器可使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000或是NSpec軟件。
單軸壓電致動器特點
雙電容傳感器反饋技術
行程高達120微米
超高分辨率0.1nm
超薄且緊湊設計
較高的剛性
弱化了壓電陶瓷的蠕變效應
超低噪音阻抗
非常適合各種原子力顯微鏡和掃描探針顯微鏡
具有真空版本的真空壓電致動器
單軸壓電致動器應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
微電子學應用
微操作
單軸壓電致動器規格
主動軸 Z軸
Z軸行程 120µm
閉環分辨率 1nm
開環分辨率 0.1nm
整范圍內的角度傾斜＜0.01度
掃描速度 10Hz
電容值 20pF
Z軸諧振頻率 3KHz
負載承重 100g
工作溫度 -40~80°C
尺寸 30 x 30 x 22mm
材料 鋁
單軸壓電致動器的中心部件具有可移動性,掛在柔性彈簧上,由壓電致動器驅動,確保了較高剛性和高穩定性。相比于經典的壓電陶瓷管的壓電掃描臺(球形掃描面),單軸壓電致動器具有更好的位移線性和平整度,并具有更高機械強度。
單軸壓電致動器Piezo Actuator配備了電容位移傳感器,包括于數字反饋鏈系統內,用于數字閉環控制,它保證了高精度和線性位移,消除了壓電陶瓷固有的蠕變效應。其中,電容測量采用TDC時間數字轉換器,測量電子電路距離傳感器更近,這種設計具有更低噪音和更高速度的位移控制。
這款單軸壓電致動器可使用通用控制器8NSC-3000 和8NSC-1000或是NSpec軟件。
單軸壓電致動器特點
雙電容傳感器反饋技術
行程高達120微米
超高分辨率0.1nm
超薄且緊湊設計
較高的剛性
弱化了壓電陶瓷的蠕變效應
超低噪音阻抗
非常適合各種原子力顯微鏡和掃描探針顯微鏡
具有真空版本的真空壓電致動器
單軸壓電致動器應用
掃描探針顯微鏡
原子力顯微鏡
納米定位
計量學應用
生物學研究
微電子學應用
微操作
單軸壓電致動器規格
主動軸 Z軸
Z軸行程 120µm
閉環分辨率 1nm
開環分辨率 0.1nm
整范圍內的角度傾斜＜0.01度
掃描速度 10Hz
電容值 20pF
Z軸諧振頻率 3KHz
負載承重 100g
工作溫度 -40~80°C
尺寸 30 x 30 x 22mm
材料 鋁
