日本KOFLOC-DF550C系列質量流量控制器-金屬密封數字式
DF550C是基于DF200C基礎上的金屬密封產品，它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于
高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合
DF550C系列
日本KOFLOC-DF550C系列氣體質量流量控制器-金屬密封數字式
DF550C是基于DF200C基礎上的金屬密封產品，它除開擁有DF200
的高精度、高速度性能之外，在泄漏率方面做的更低，非常適用于
高真空、強腐蝕、劇毒氣體等等在對泄漏率有高要求場合
泄漏率：1*10-11pa·m³/s以下
金屬密封，適用于對泄漏率有高要求場合
性能參數
| DF550C系列質量流量控制器-金屬密封數字式 | |
| 量程(N2) | 10SCCM-10SLPM |
| 氣體 | 所有氣體 |
| 精度 | ±1.0%FS |
| 重復性 | ±0.25%FS |
| 有效范圍 | 2- |
| 響應時間 | 1秒以內 |
| 耐壓 | 1.0Mpa |
| 進口大壓力 | 0.5Mpa |
| 工作壓差 | 0.05-0.3Mpa |
| 泄漏率 | 1*10-11pa·m³/s以下 |
| 溫度范圍 | 5~50℃ |
| 精度保證溫度 | 15~35℃ |
| 保存溫度 | -10~60℃ |
| 濕度范圍 | 10-90%RH(不能結露) |
| 材質 | 本體SUS316L |
| 密封圈SUS316L | |
| 電氣接口 | DB9 |
| 通訊接口 | RJ45 |
| 模擬信號 | 0-5V輸入/輸出 |
| 供電 | +24VDC(±10%)300mA；±15VDC(±10%)300mA |
| 管路連接 | 標配1/4UJR |
| 重量 | 約1100g |
電氣連接
DB9針腳定義：
| 針腳/顏色 | 定義 |
| 1針腳/棕色 | 閥門全開/全閉 |
| 2針腳/白色 | 0-5V輸出 |
| 3針腳/紅色 | +15VDC 或+24VDC |
| 4針腳/黑色 | 電源COM 或 空 |
| 5針腳/黃色 | -15VDC 或 電源地 |
| 6針腳/灰色 | 0-5V輸入 |
| 7針腳/綠色 | 輸出COM |
| 8針腳/蘭色 | 輸入COM |
| 9針腳/紫色 | 閥門電源輸出 |
RJ45針腳定義：
| 針腳 | 定義 |
| 1針腳 | 485COM |
| 2針腳 | 485COM |
| 3針腳 | 空 |
| 4針腳 | 485- |
| 5針腳 | 485+ |
| 6針腳 | 空 |
| 7針腳 | 空 |
| 8針腳 | 空 |
使用注意：
一：進氣管道上建議安裝上的過濾器、油水分離器使用，保證氣體的干燥干凈《濕度不超過90%(一定不能進水)、雜質粉塵不超過20微米》。
二：用肥皂水對管路進行泄漏檢測時，只能將肥皂水噴灑在管路接頭上，不能噴在儀表或電氣插頭上。
三：安裝前，請將設備管路進行整體吹掃。
四：耐壓1.0Mpa，進口大壓力5公斤。
五：需要進行零點漂移清零的時候，確認進/出口沒流量沒壓力下再操作。
