脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀
熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如熱擴散系數（Thermal Diffusivity）、熱導率（Thermal Conductivity）、吸熱 系數（Thermal Effusivity）和界面熱阻。
脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀熱反射（Thermo-Reflectance）方法基于超高速激光閃射系統，可測量基片上金屬、陶瓷、聚合物薄膜的熱物性參數，如熱擴散系數（Thermal Diffusivity）、熱導率（Thermal Conductivity）、吸熱 系數（Thermal Effusivity）和界面熱阻。
由于激光閃射時間僅為納秒（ns）量級，甚至可達到皮秒（ps）量級，此系統可測量厚度低至10nm的薄膜。同時，系統提供不同的測量模式，以適應于不同的基片情況（透明/不透明）。
該方法符合標準：
JIS R 1689：通過脈沖激光熱反射方法測量精細陶瓷薄膜的熱擴散系數；
JIS R 1690：陶瓷薄膜和金屬薄膜界面熱阻的測量方法。
發展簡史脈沖激光熱反射法薄膜導熱儀
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