真空等離子清洗機真空泵的選配范圍一般是機械泵（旋片泵）、羅茨泵、干泵、油泵、渦旋泵等選配的時候客戶的需求、價格因素、設備需要的性能及需要維持的真空度、真空腔體的大小綜合考慮一般如下：

1客戶對環境要求比較高用干泵、渦旋泵

2客戶環境要求不高，且希望價格便宜配置油泵

3設備腔體比較大一般150L以上需要配機械泵+羅茨泵，因為羅茨泵的轉速高可以快速的將真空腔體抽到需要的真空度并通過變頻器有效維持穩定

4原則上選擇真空泵時選擇品牌比較的比如萊寶、愛德華、巖田、漢中、優成以確保設備運轉的穩定、畢竟開機生產真空泵一直高速運轉相對正太真空等離子清洗機來說是磨損嚴重的一個部份

在等離子清洗機真空泵的保養維護方面請注意以下幾點

1對于油泵來說定時更換真空泵油是必須要的工作，在等離子處理的過程中真空腔體內原先的灰塵、被等離子打出的灰塵都會經過抽空系統污染到泵油，長時間不換油腔體內的油會變粘結塊，嚴重導致泵的損壞另外，泵油發黑和發白分別代表了碳化化嚴重和乳化嚴重必須更換，一般建議3個月換一次

2腔體內每班清潔，同樣的道理減少灰塵等進入真空泵

3放置小體積產品及異物掉落腔體被真空泵吸入卡泵

4定時整體本體保養清潔、更換磨損件（維修包）-技術達不到的建議返廠保養，適當的保養維護花費可以防止設備故障停產的損失及換泵的大額支出

5對于配有水冷及氣冷的真空泵一定要點檢水流量及氣路氣壓的正常，當然設備廠家基本都會給設備配置水流量報警及低氣壓報警

6在等離子清洗機真空泵發生過載報警時切記不可強制行開啟真空泵，一定要先判斷泵的狀態，是過熱了，缺乏保養等的原因，維修成本相對低，一旦卡死不能動事情就嚴重了，維修價格高難度大再嚴重的就報廢了