硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀
高純硅烷中的痕量雜質分析采用了*的DID氦離子氣相色譜儀技術為我們的客戶提供準確的結果，并滿足易于操作和維護的需求。因交互式觸摸屏采用了易用界面作為指導，所以使培訓變得簡單。這也使得操作人員應用自如
一、硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀
AGC NovaCHROM1000硅烷純度分析氦離子氣相色譜儀采用DID氦離子化檢測器，主要用于高純硅烷中H2、O2、N2、CH4、CO、CO2等分析。
AGC NovaCHROM1000，所有連接接口均采用1/8"VCR，保障了儀器的氣密性。安裝的閥門經過了嚴格的泄漏試驗，并且被裝在了有He氣吹掃的機殼內，*與大氣隔離。因此杜絕了環境污染，從而保證儀器有更穩定、更靈敏和更長的使用壽命。
二、低檢測限：
AGC NovaCHROM1000氦離子氣相色譜儀檢測限（ppb） | |||||||||||
組分 | H2 | O2 | N2 | CH4 | CO | CO2 | C2H2 | N2O | Ne | Kr | Xe |
檢測限 | 5 | 10 | 10 | 1 | 10 | 10 | 5 | 10 | 10 | 10 | 10 |
三、主要特點：
搭載DID氦離子化檢測器
可搭載兩個或兩個以上檢測器
ppb級的靈敏度
快速響應時間≤0.5秒（90%）
除獨立大柱箱，另外搭載多個獨立控溫的小柱箱
每根色譜柱都有一個獨立溫控的柱箱
電拋光不銹鋼管，酸洗鈍化處理
可搭載哈氏合金氣路，做防腐蝕性處理
根據需求，可選配帶加熱功能電磁閥
集成*
*的穩定性和靈敏性
*自動化的應用
通過Trend-vision工作站軟件*控制
可根據用戶需定制不同的氣體分析方式
