一、控制單元:

目前國內使用的等離子體清洗機，包括國外進口的，控制單元主要分為半自動控制、全自動控制、PC電腦控制、液晶控制屏控制四種方式。

而控制單元又分為兩個大的部分:1)電源部分:主要電源頻率有三種，分別是40KHz、13.56MHz、2.45GHz，其中13.56MHz是需要電源匹配器的，而2.45GHz又稱為微波等離子，主要的功能作用，前面已經提到了，這里就不一一介紹了。2)系統控制單元:分三種，按鈕控制(半自動、全自動)、電腦控制、PLC控制。

二、真空腔體:

真空腔體主要是分為兩種材質的:1)不銹鋼真空腔體，2)石英腔體。

三、真空泵:

真空泵分為兩種:1)干泵、2)油泵

一、清洗對象經等離子清洗之后是干燥的，不需要再經干燥處理即可送往下一道工序。可以提高整個工藝流水線的處理效率;

二、等離子清洗使得用戶可以遠離有害溶劑對人體的傷害，同時也避免了濕法清洗中容易洗壞清洗對象的問題;

三、避等ODS有害溶劑，這樣清洗后不會產生有害污染物，因此這種清洗方法屬于環保的綠色清洗方法。這在高度關注環保的情況下越發顯出它的重要性;

四、采用無線電波范圍的高頻產生的等離子體與激光等直射光線不同。等離子體的方向性不強，這使得它可以深入到物體的微細孔眼和凹陷的內部完成清洗任務，因此不需要過多考慮被清洗物體的形狀。而且對這些難清洗部位的清洗效果與氟利昂清洗的效果相似甚至更好;

五、使用等離子體清洗機，可以使得清洗效率獲得*的提高。整個清洗工藝流程幾分鐘內即可完成，因此具有產率高的特點;