S22系列壓電偏轉鏡是一維θx軸偏轉鏡/快反鏡，柔性鉸鏈導向設計具有零摩擦及靜態阻力、優異的導向精度。提供納弧度的分辨率 和優異的定位穩定性。光束偏轉范圍可達8mrad, 具有極快的響應速度（毫秒至微秒級），非常適于動態操作（例如跟蹤、掃描、漂移及 振動消除）及光學和樣品的靜態定位。
特性：
• θx一維偏轉 • 大偏轉角度4mrad • 亞毫秒響應時間 • 閉環定位精度高
典型應用
• 圖像處理與穩定 • 隔行掃描、抖動
• 激光掃描 • 光束偏轉
• 光學濾波器/開關
結構原理
小體積、高動態、開環閉環可選平臺由一個鉸鏈支撐，并且由一個線性壓電促動器推動。鉸 鏈確定了軸心點，兼起到給壓電促動器施加預緊力的作用。單個 鉸鏈單個促動器設計的優點是結構簡單、體積小巧、性價比高 等。如果角度偏轉時工作環境溫度變化范圍較大，推薦使用差分 驅動壓電偏轉鏡。
壓電驅動俯仰/偏轉臺（快反鏡/傾斜鏡，光束偏轉，相移 器）提供比音圈電機類產品更高的加速度及帶寬，θx軸偏轉范圍 為4mrad，偏轉分辨率達0.1μrad，開環閉環可選，閉環傳感器 包括應變傳感器及電容傳感器，可獲得更高的定位精度。
超小體積設計，具有非?？斓捻憫俣龋蓭лd?15mm的 鏡片實現0.8ms的階躍時間。
S22系列壓電偏轉鏡技術參數：
型號 | 尾綴S-閉環 尾綴K-開環 | S22.U3S S22.U3K | 單位 |
運動自由度 | θx | ||
標稱行程范圍（0~120V） | 2.5 | mrad±20% | |
大行程范圍（-20~150V） | 4 | mrad±20% | |
傳感器類型 | SGS/- | ||
閉/開環分辨率 | 0.3/0.1 | μrad | |
閉環線性度 | 0.2/- | %F.S. | |
閉環重復定位精度 | 0.15/- | %F.S. | |
空載諧振頻率 | 3 | kHz±20% | |
閉/開環空載階躍時間 | 3/0.8 | ms±20% | |
閉環空載 工作頻率 | 10%行程 | 100 | Hz±20% |
行程 | 40 | ||
靜電容量 | 1.8 | μF±20% | |
材質 | 鋼 | ||
重量 | 80 | g±5% | |
以上參數是采用E00系列壓電控制器測得。
