壓電陶瓷納米位移臺在提供*精度位移控制的同時,保證了優異而*的穩定性能,適用于室溫、大氣到超高真空環境中,負載可達幾公斤,行程達到50mm,小步長50nm,配備的光學位移傳感器可將位移精度控制到10nm,提供多維度位移功能。
壓電陶瓷納米位移臺應用實例:
AFM顯微鏡,激光校準,低溫操作應用,微型加工技術,半導體,掃描應用
特點:
+ 在厘米級的行程范圍內,達到納米級高精度位移控制
+ *的機械穩定性
+ 位移驅動電壓<45V,無需高壓屏蔽
+ 10nm位移精度,+/-200nm位移重復性,<0.01%精度
+ 特殊材質,兼容各種光學實驗環境和超高真空環境
+ 快速樣品更換裝置
產品規格和型號參數
行程范圍:125-750mm
驅動系統:無刷直線電機
大加速度: 取決于負載
大速度:3米/秒(無負載時)
大峰值力:800N
大連續力:160N
大負荷:XY平臺50Kg,Z軸25kg
反饋系統:非接觸式直線編碼器系統
TTL分辨率:5 μm, 1μm, 0.5μm,0.25μm, 0.2μm,100 nm & 50 nm
重復精度:5x分辨率
構造:鋁合金主體,硬質灰色陽極鍍膜
上海納動納米位移技術有限公司(簡稱“納動納米”、“NanoMotions”),坐落于上海漕河涇新興技術開發區,是一家專業集精密機械、精密驅動、精密傳感、精密控制、精密測量、精密光學等各領域的技術于一體的*,專注于超精密納米級定位及運動控制技術與產品的開發,并致力于創新開發壓電微米定位、壓電納米定位、壓電定位控制及測量等設備提供系統的技術解決方案,滿足于國內外市場對超精密納米級定位及運動控制技術需求的專業研發制造商。 上海納動納米位移技術有限公司本著“創新,立足,精益打造納米定位與運動控制中國制造的品牌“的目標,力求*國內技術空白,打破國外對中國的技術壁壘和國外產品壟斷中國市場的局面,為中國智能裝備產業和科研領域提供*運動和測控解決方案提供關鍵技術和打造堅實基礎