集成式壓電驅動器無摩擦,柔性鉸鏈導向系統使得這一系列產品可實現納米級的分辨率,同時可選備應變計或電容位置傳感器,可實現非常準確的重復性.
集成式壓電驅動器特點：
不同轉子長度導致不同行程
分辨率達0.03納米
不工作時自鎖，無熱量產生
無磁性和真空兼容工作原理
三種技術：NEXLINE
、NEXACT和PICMAWalk
從OEM電機到多軸定位系統的集成度
技術參數：
1600Vp-p單通道（差分輸出）
• 輸出電壓1600Vp-p (±800V)
• 輸出電流40mA
• 功率32W
• 帶寬（-3dB）DC~150KHz
• 壓擺率200V/μs
• 低失真
• 增益數控0~240（0.1step）可調
• 輸入阻抗50Ω/5KΩ可調
• 一鍵保存設置（Save鍵
目前，多層式驅動器制作時，通常是采用傳統流延成膜多層共燒制備工藝，包括以下步驟
(1)流延成型，其是在原料中加入有機溶劑后制作漿料，并將漿料流延得到膜層；
(2)烘干，即對流延得到的膜層進行烘干；
(3)疊加，將烘干后的膜層鍍上銀電極，并進行疊加；
(4)共燒，即將疊加后得到的多層膜高溫煅燒，得到多層結構的壓電驅動器。現有采用傳統流延成膜多層共燒制備工藝中，需要使用有機溶劑，而有機溶劑通常有毒；共燒過程中，膜層上鍍的銀電極容易擴散，導致制作后的壓電驅動器性能下降、退化；同時，現有制備工藝流程復雜，安全性較差，制作成本較高。此外，現有技術也有通過采用環氧樹脂黏貼方式得到壓電驅動器。
綜上，現有壓電驅動器的多層共燒制備工藝中，多層共燒過程中易導致膜層上銀電極擴散，壓電陶瓷層之間易產生蠕變，使得壓電驅動器的能量轉換效率低，位移損失較大，壓電驅動器性能較差；此外，現有壓電驅動器制備工藝復雜，質量不易控制。而現有采用環氧樹脂方式制備壓電驅動器時，制備得到的壓電驅動器無法適用于高溫環境工作。
